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氦质谱背压检漏方法研究
被引量:
12
1
作者
薛大同
肖祥正
+2 位作者
李慧娟
张涤新
冯焱
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期105-109,共5页
阐述了氦质谱背压检漏的特点及目前存在的问题,在此基础上提出了改进建议。深入探讨了预充氦背压法测得的测量漏率与等效标准漏率的关系,指出预充氦背压法可用于检测压氦背压法检测不到的小漏孔,给出了等效标准漏率对测量漏率具有的双...
阐述了氦质谱背压检漏的特点及目前存在的问题,在此基础上提出了改进建议。深入探讨了预充氦背压法测得的测量漏率与等效标准漏率的关系,指出预充氦背压法可用于检测压氦背压法检测不到的小漏孔,给出了等效标准漏率对测量漏率具有的双值均在分子流范围时的鉴别方法。
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关键词
氦质谱仪
泄漏检测
密闭器件
背压法
压氦
预充氦
下载PDF
职称材料
题名
氦质谱背压检漏方法研究
被引量:
12
1
作者
薛大同
肖祥正
李慧娟
张涤新
冯焱
机构
兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室
中国航空综合技术研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期105-109,共5页
文摘
阐述了氦质谱背压检漏的特点及目前存在的问题,在此基础上提出了改进建议。深入探讨了预充氦背压法测得的测量漏率与等效标准漏率的关系,指出预充氦背压法可用于检测压氦背压法检测不到的小漏孔,给出了等效标准漏率对测量漏率具有的双值均在分子流范围时的鉴别方法。
关键词
氦质谱仪
泄漏检测
密闭器件
背压法
压氦
预充氦
Keywords
Helium mass spectrometer
Leak testing
Sealed part
Inside-out testing
Pressing helium
Prefilling helium
分类号
TB774.3 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氦质谱背压检漏方法研究
薛大同
肖祥正
李慧娟
张涤新
冯焱
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
12
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