一种新型的微束XRF谱仪

本文介绍一种新型高能量分辨微束 X 荧光分析谱仪,它由导管 X 光透镜和使用位置灵敏正比计数管的波长色散谱仪组成。实验结果表明本谱仪使用的 X 光透镜形成的 X 光微束的最小束径对 Cu Kα线为 50 μm,一次测量同时覆盖的能量范围可达 800 eV 以上,而对 Ti Kα线的能量分辨达到 4.4 eV。