微纳晶体谐振器封盖移载机械手末端位置误差分析

封盖移载机械手是一种移载微纳晶体谐振器封盖的装置,该装置要求其定位精度高、移载速度快。通过DH模型法,建立封盖移载机械手运动模型;基于MDH方法修正运动学模型并建立正运动学模型;利用Robotic Toolbox仿真验证运动建模的合理性;基于MDH建模方法建立统一的位置误差数学模型,得到各参数的误差对应末端位置坐标,为封盖移载机械手的安装、精度设计和误差分析提供理论依据。