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热致封装效应对MEMS固支梁谐振频率的影响 被引量:3
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作者 李明 宋竞 +1 位作者 黄庆安 唐洁影 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期157-162,共6页
MEMS器件的封装效应显著而复杂,其中由贴片封装引起的结构热失配是封装效应的主要成因.论文在前期封装-器件耦合行为模型的基础上,利用激光多普勒测振仪实验验证了贴片工艺的热致封装效应对固支梁器件性能的影响.结果表明,贴片前后固支... MEMS器件的封装效应显著而复杂,其中由贴片封装引起的结构热失配是封装效应的主要成因.论文在前期封装-器件耦合行为模型的基础上,利用激光多普勒测振仪实验验证了贴片工艺的热致封装效应对固支梁器件性能的影响.结果表明,贴片前后固支梁的谐振频率发生显著变化,并沿芯片表面表现出明显的分布特征.考虑封装效应的理论模型可以较好地预测该结果,为MEMS系统的器件-封装协同设计提供理论指导. 展开更多
关键词 MEMS 封装效应 固支梁 谐振频率 协同设计
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MEMS器件热致封装效应的解析建模研究 被引量:3
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作者 宋竞 黄庆安 唐洁影 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1613-1616,共4页
由封装结构热失配引入的结构变形和应力将对MEMS器件性能产生显著影响,即热致封装效应.基于单元库法思想构建了封装后MEMS器件的解析模型.新建锚区、芯片、封装基板等标准单元,利用节点分析法描述了各结构单元间的热弹性耦合行为,以此... 由封装结构热失配引入的结构变形和应力将对MEMS器件性能产生显著影响,即热致封装效应.基于单元库法思想构建了封装后MEMS器件的解析模型.新建锚区、芯片、封装基板等标准单元,利用节点分析法描述了各结构单元间的热弹性耦合行为,以此作为封装效应评估的基础.利用该模型计算了热致封装效应对常规芯片粘接封装的双端固支梁器件主要性能参数的影响. 展开更多
关键词 MEMS 热致封装效应 单元库法 节点分析法
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热致封装效应对MEMS器件谐振特性影响的单元库模型 被引量:1
3
作者 宋竞 黄庆安 唐洁影 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期943-947,共5页
大量试验和数值仿真结果均已确认封装-器件的热失配对MEMS器件性能及可靠性有显著影响,即热致封装效应.然而迄今为止仍缺乏有效的物理模型对此加以系统描述.本文基于单元库法思想和节点法分析手段构建了MEMS热致封装效应的理论模型.通... 大量试验和数值仿真结果均已确认封装-器件的热失配对MEMS器件性能及可靠性有显著影响,即热致封装效应.然而迄今为止仍缺乏有效的物理模型对此加以系统描述.本文基于单元库法思想和节点法分析手段构建了MEMS热致封装效应的理论模型.通过对非器件结构如锚区、衬底等标准化单元建模,扩充了节点分析法在封装级MEMS仿真领域的应用.文中以常见MEMS基本器件和封装结构为例进行了研究,计算了热致封装效应对器件谐振特性的影响,并利用有限元仿真进行验证.最后讨论了封装级MEMS设计面临的挑战. 展开更多
关键词 MEMS 热致封装效应 谐振 单元库思想 节点分析法
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硅微电容式加速度计热致封装效应的层合分析 被引量:1
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作者 周铭 徐大诚 郭述文 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第7期953-957,共5页
由封装结构热失配引入的应力和结构变形会对MEMS器件性能产生显著影响,即热致封装效应。为描述该效应,一种基于缩减刚度矩阵的层合板模型被用来对硅微电容式加速度计的封装进行了建模。利用经典层合理论,由计算封装热失配引入的应变和... 由封装结构热失配引入的应力和结构变形会对MEMS器件性能产生显著影响,即热致封装效应。为描述该效应,一种基于缩减刚度矩阵的层合板模型被用来对硅微电容式加速度计的封装进行了建模。利用经典层合理论,由计算封装热失配引入的应变和曲率得到敏感检测电容的温度特性,以此作为热致封装效应的评估。并结合有限元模拟(FEM)对该理论模型进行了对比和验证。结果表明,层合模型能较好地描述硅微加速度计的热致封装效应,并在此基础上分析了优化措施。 展开更多
关键词 MEMS 硅微加速度计 热致封装效应 层合板 缩减刚度矩阵
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封装热效应及粘结层对微芯片应力和应变的影响 被引量:5
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作者 连兴峰 苏继龙 《机电技术》 2012年第6期33-36,共4页
针对不同的基板和粘结层,运用COMSOL Multiphysics软件分析了由封装引起的热失配对MEMS芯片的内部应力和应变的影响及其影响规律。分析不同基板对SiC芯片的应力和应变的影响,通过有限元计算分析得知,当基板的热膨胀系数跟芯片的热膨胀... 针对不同的基板和粘结层,运用COMSOL Multiphysics软件分析了由封装引起的热失配对MEMS芯片的内部应力和应变的影响及其影响规律。分析不同基板对SiC芯片的应力和应变的影响,通过有限元计算分析得知,当基板的热膨胀系数跟芯片的热膨胀系数越接近,封装对芯片导致的应力应变和位移的影响越小。研究表明:粘结层的厚度对SiC芯片的应力等参数同样存在一定的影响,当粘结层的厚度增加时能够降低SiC芯片由封装引起的热应力,同时也会降低SiC芯片的第一主应变。基板厚度增加会增加SiC芯片由封装引起的热应力,温度场由高到低会增加SiC芯片由封装引起的热应力。 展开更多
关键词 芯片 封装效应 应力 微机电系统
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声表面波器件封装电磁互通效应的研究
6
作者 马林 方志华 官伯然 《杭州电子科技大学学报(自然科学版)》 2008年第4期13-16,共4页
随着声表面波器件的小型化和高频化,该器件对封装引起的电磁互通效应的影响越来越敏感。因此,为了器件的准确设计,就必须慎重考虑封装对器件性能的影响。该文利用声表面波梯形滤波器的LC等效电路原理来获得声表面波双工器的模型;建立该... 随着声表面波器件的小型化和高频化,该器件对封装引起的电磁互通效应的影响越来越敏感。因此,为了器件的准确设计,就必须慎重考虑封装对器件性能的影响。该文利用声表面波梯形滤波器的LC等效电路原理来获得声表面波双工器的模型;建立该器件的封装结构模型,利用基于有限元法的全波分析工具来提取其S参数。结合两者的结果,模拟出封装对声表面波器件的影响。 展开更多
关键词 声表面波 梯形谐振滤波器 封装效应
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一种带封装及ESD保护电路的低噪声放大器设计 被引量:1
7
作者 许永生 陶永刚 +4 位作者 洪亮 游淑珍 李小进 石春琦 赖宗声 《电子器件》 CAS 2006年第3期691-696,共6页
研究了封装以及ESD保护电路对低噪声放大器的性能影响。通过详尽推导电感负反馈共发射极低噪声放大器的输入阻抗、跨导、电压增益以及噪声系数的表达式,讨论并设计了一个应用于超高频接收芯片的低噪声放大器。芯片采用低成本的0.8μm Bi... 研究了封装以及ESD保护电路对低噪声放大器的性能影响。通过详尽推导电感负反馈共发射极低噪声放大器的输入阻抗、跨导、电压增益以及噪声系数的表达式,讨论并设计了一个应用于超高频接收芯片的低噪声放大器。芯片采用低成本的0.8μm BiCMOS工艺实现,封装形式为SOIC28。经过测量,所得到的参数与讨论及仿真值很好吻合,验证了设计以及优化方法的正确性。 展开更多
关键词 封装效应 ESD保护 射频集成电路 低噪声放大器
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不同封装的扩展电阻温度传感器瞬态热响应模型
8
作者 杨炳良 刘百勇 +4 位作者 陈斗南 杨春辉 郑学仁 王曦 郑耀宗 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1995年第12期51-58,共8页
研究了扩展电阻温度传感器的封装效应。对扩展电阻温度传感器封装热阻的测量和瞬态热响应分别进行了理论和实验研究。理论结果和实验结果吻合。实验和理论结果表明,管壳的几何形状比封装材料对传感器瞬态响应时间的影响更重要。对于要... 研究了扩展电阻温度传感器的封装效应。对扩展电阻温度传感器封装热阻的测量和瞬态热响应分别进行了理论和实验研究。理论结果和实验结果吻合。实验和理论结果表明,管壳的几何形状比封装材料对传感器瞬态响应时间的影响更重要。对于要求高灵敏度和快速响应的传感器封装,小型和球型的封装方式总是被推荐的。实验发现,对于一个2mm直径的球形封装传感器的响应时间约6s。 展开更多
关键词 温度传感器 扩展电阻 封装效应 瞬态热响应
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封装级MEMS器件的广义节点分析法
9
作者 宋竞 黄庆安 唐洁影 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期937-942,共6页
MEMS器件和封装的耦合作用会引入显著的封装效应,需要在优化设计时加以考虑。此类问题用常见的有限元法和节点分析法分析时分别会存在费时、不易集成和分布行为不易用集总节点量表示的困难。本文在常规节点分析法的基础上,提出了广义节... MEMS器件和封装的耦合作用会引入显著的封装效应,需要在优化设计时加以考虑。此类问题用常见的有限元法和节点分析法分析时分别会存在费时、不易集成和分布行为不易用集总节点量表示的困难。本文在常规节点分析法的基础上,提出了广义节点分析方法对封装级MEMS器件行为进行建模。通过引入节点物理量为函数的分布节点,结合柔度矩阵的建模方案和有限项近似的数学处理方法,使分布问题的求解过程更加简单清晰。利用该方法分析了芯片贴装后的MEMS双端固支梁的热致封装效应,验证了封装效应影响因素复杂和表现形式分布化的特点。最后讨论了该方法具有的使用简单、计算量小和利于模型重用的优点。 展开更多
关键词 MEMS 节点法 封装效应 建模
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电容式微加速度计的刻度温漂的半解析模型 被引量:1
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作者 何江波 谢进 +2 位作者 何晓平 杜连明 周吴 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期45-50,共6页
针对电容式微加速度计的刻度温漂,根据微加速度计的检测原理及热变形的分析结果,建立了刻度温漂的半解析模型,并在此基础上分析了刻度温漂的主要影响因素。分析结果表明,刻度温漂由两部分组成,第一部分主要由单晶硅的弹性模量的温度系... 针对电容式微加速度计的刻度温漂,根据微加速度计的检测原理及热变形的分析结果,建立了刻度温漂的半解析模型,并在此基础上分析了刻度温漂的主要影响因素。分析结果表明,刻度温漂由两部分组成,第一部分主要由单晶硅的弹性模量的温度系数决定,可以通过高掺杂降低;第二部分由微加速度计的热变形引起,它的大小与封装胶的弹性模量、梳齿的宽度、大电容间隙与小电容间隙的比值以及固定梳齿锚点的位置相关;第一部分和第二部分分别是正数和负数,因此相互补偿。基于MEMS体硅微加工工艺,制造了微加速度计的实验样品,刻度温漂的测量结果验证了理论分析结果的正确性。 展开更多
关键词 电容式微加速度计 刻度温漂 半解析模型 弹性模量的温度系数 封装效应 MEMS
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Integration of Power MOSFETs for Synchronous Buck Converters
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作者 Juan A. Herbsommer Jonathan Noquil Osvaldo Lopez David Jauregui 《Journal of Energy and Power Engineering》 2012年第7期1126-1130,共5页
Efficiency and power loss in the microelectronic devices is a major issue in power electronics applications. The engineers are challenged every year to increase power density and at the same time reduce the amount of ... Efficiency and power loss in the microelectronic devices is a major issue in power electronics applications. The engineers are challenged every year to increase power density and at the same time reduce the amount of power dissipated in the applications to keep the maximum temperatures under specifications. This situation drives a constant demand for better efficiencies in smaller packages. Traditional approaches to improve efficiency in DC/DC synchronous buck converters include reducing conduction losses in the MOSFETs (metal oxide semiconductor field effect transistors) through lower RDS (ON) (resistance drain to source in the ON state) devices and lowering switching losses through low-frequency operation. However, the incremental improvements in RDS (ON) are at a point of diminishing returns and low RDS (ON) devices have large parasitic capacitances that do not facilitate the high-frequency operation required to improve power density. The drive for higher efficiency and increased power in smaller packages is being addressed by advancements in both silicon and packaging technologies. The NexFET power block combines these two technologies to achieve higher levels of performance, and in half the space versus discrete MOSFETs. This article explains these new technologies and highlights their performance advantage. 展开更多
关键词 MOSFET synchronous buck converters INTEGRATION DC/DC converters.
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