计量型微米级X射线坐标测量机空间分辨力标准器的研制

针对现有计量型X射线坐标测量机空间分辨力标准器无法溯源的问题,研发了新型可溯源的空间分辨力标准器,并对其校准方法进行了探索研究。首先,基于线对卡法,利用光刻和电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺研制了可定期溯源栅格标准器。然后,通过扫描电子显微镜实现了标准器的量值溯源,得到标准器的栅格周期为4~40μm,结果的均匀性可达0.1%,满足目前计量型X射线坐标测量机空间分辨率溯源需求。最后,采用3D打印技术设计制备可拆卸的封装保护结构,便于标准器在产业中推广使用。上述方法有利于改善X射线坐标测量机等仪器的校准工作,提升现阶段的精度水平。