一种硅片上的高性能射频线圈电感器

由于无线通讯设备的强烈需求，促进了无线电收发两用设备向着集成为一个整体的方向进行研究探索。在基本的电子元件中，与硅集成电路相容性最差的是电感器件，尽管在峰窝通讯设备中，多数电感器是被要求用来执行振荡器、滤波器和匹配网络功能的。采用金属喷涂工艺制造的螺旋线电感器已经被集成到硅基片集成电路上，但是，由于其被集成到硅基片会引起寄生电容和产生损耗，所以还不能完全地进行集成。我们制作一种在硅基片上集成的三维（3-D）线圈电感器，它们存在的耦合电容和损耗都较小，具有广泛的应用前景。这种电感器在1GHz时，用单匝元件测得的Q值为30，而2匝和4匝的元件的Q值〉16。多匝元件Q值的下降看起来好像与来自邻近线匝产生的磁场在本线圈外部线匝中形成的涡电流有关。Q值有效地高过30是我们在改善线圈电感器设计中所期望的。

电感器、变压器、线圈、阻流圈

Y90-62020-175 0003636混合射频/微波用的三维以陶瓷为基础的 MCM 电感的开发=Development of three dimensional ceramic-based MCM inductors for hybrid RF/microwave applica-tions[会,英]/Sutono,A.& Pham,A.//1999 IEEEradiofrequency integrated circuits symposium.—175～178(UC)Y90-62020-185 0003637以硅三维 MMIC 技术为基础的新型高 Q 电感器及其应用=A novel high-Q inductor based on Si 3D MMICtechnology and its application[会,英]/Kamogawa,K.& Nishikawa.K.//1999 IEEE radiofrequency integrat-ed circuits symposium.—185～188(UC)

电感器、变压器、线圈、阻流圈

Y2000-62591-345 0114736采用 CMOS 工艺的叠片电感器和1对2变压器=Stacked inducrors and 1-to-2 transformers in CMOS tech-nology[会,英]/Zolfaghari,A.&Chan,A.//2000IEEE Custom Integrated Circuits Conference.—345～348(EC)Y2000-62591-349 0114737用于射频集成电路的集成电容性耦合变压器=An in-tegrated capacitively coupled transformer and its applica-tion for RF IC’s[会,英]/wong.L.P.&Snyder,C.//2000 IEEE Custom Integrated Circuits Confer-ence.—349～352(EC)

电感器、变压器、线圈、阻流圈

Y98-61438-252 9912832硅上高性能射频(RF)线圈电感器=High-performanceRF coil inductors on silicon[会,英]/Malba,V.&Young,D.//1998 IEEE 48th Electronic Components &Technology Conference.—252～255 (AG)