射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量

利用双探针对ECR PECVD装置中基片在射频偏置下的等离子体参数进行了测量。同时测量了在射频偏置下微波功率、磁场电流、进气量等参数对ECR PECVD等离子体参数的影响。结果表明,在ECR PECVD等离子体装置中,基片射频偏置对电子温度有影响,而等离子体密度主要由微波功率所决定。