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静电探针测量射频感应耦合等离子体密度 被引量:3
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作者 曹小明 顾彪 +1 位作者 徐茵 张砚臣 《实用测试技术》 CAS 1999年第4期35-37,共3页
本文介绍了一种可以测量射频感应耦合等离子体密度的静电探针方法。并给出了它的测量原理,实验方法和实验结果。实验结果表明:所测等离子体密度反映了等离子体的特性,并且诊断手段简单、易行,为等离子体诊断提供了一种很好的实验手段。
关键词 等离子体诊断 静电探针 等离子体密度 射频感应耦合
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射频感应耦合等离子体朗缪双探针诊断分析 被引量:4
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作者 张昀 王波 王荷军 《真空》 CAS 2016年第3期56-61,共6页
采用朗缪探针法对射频感应耦合等离子体进行了诊断分析,得到了圆柱形ICP放电装置的电子密度和电子温度。通过朗缪双探针研究了不同放电气压、不同射频功率、不同放电位置、不同气体组分对等离子体参数的影响。一定功率下,电子密度在30Pa... 采用朗缪探针法对射频感应耦合等离子体进行了诊断分析,得到了圆柱形ICP放电装置的电子密度和电子温度。通过朗缪双探针研究了不同放电气压、不同射频功率、不同放电位置、不同气体组分对等离子体参数的影响。一定功率下,电子密度在30Pa-100Pa之间随气压的增加而增大,在100Pa-160Pa之间随气压的增加而减小,电子温度在30Pa-160Pa之间随气压的增加而减小;一定气压下,电子密度在50W-1900W之间随功率的增加逐渐增大,电子温度在50W-900W之间随功率的增加而减小,在900W-1900W之间随功率的增加而增大。等离子体辉光区域不同位置的电子密度和电子温度各不相同,电子密度大的位置具有较低的电子温度。氩氮混合气体的电子密度随着气压的增加而减小,氮气在混合气体中的比例越高混合气体的电子密度越小;氩氮混合气体相比纯氩有着更高的电子温度,且氮气含量越高混合气体的电子温度也越高。 展开更多
关键词 射频感应耦合等离子体 朗缪双探针 电子密度 电子温度
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在平板型射频感应耦合等离子体中磁场对氧化物蚀刻特性的影响
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作者 豫丁 《等离子体应用技术快报》 1997年第2期17-18,共2页
关键词 半导体器件 等离子体 蚀刻 射频感应耦合
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射频感应耦合化学气相沉积类金刚石薄膜的摩擦性能研究
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作者 王智 《河北化工》 2011年第7期65-68,共4页
采用射频感应耦合离子源(ICP)在硅基底上沉积了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱对DLC薄膜的表面形貌及结构进行了分析表征,用UTM-2摩擦磨损试验仪对薄膜的摩擦学性能进行了测试。结果表明,利用该方法沉积制备的DLC薄膜具有良... 采用射频感应耦合离子源(ICP)在硅基底上沉积了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱对DLC薄膜的表面形貌及结构进行了分析表征,用UTM-2摩擦磨损试验仪对薄膜的摩擦学性能进行了测试。结果表明,利用该方法沉积制备的DLC薄膜具有良好的减摩抗磨性能。 展开更多
关键词 DLC薄膜 射频感应耦合 摩擦学性能
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工作频率及装置结构对射频感应等离子体特性影响的数值研究 被引量:6
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作者 陈文波 陈伦江 +3 位作者 刘川东 程昌明 童洪辉 朱海龙 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期316-323,共8页
为研究射频感应等离子体(RFICP)受等离子体发生器装置结构及工作频率的影响效应,以期可以为装置的正常工作提供参考,首先建立了射频感应热等离子体的湍流模型,然后利用商业软件ANSYS FLUENT对等离子体发生器装置内的纯氩气热等离子体温... 为研究射频感应等离子体(RFICP)受等离子体发生器装置结构及工作频率的影响效应,以期可以为装置的正常工作提供参考,首先建立了射频感应热等离子体的湍流模型,然后利用商业软件ANSYS FLUENT对等离子体发生器装置内的纯氩气热等离子体温度及流场分布进行了计算,并研究了工作频率及装置结构的变化对射频感应等离子体传热及流动特性的影响。研究结果表明:提高装置的工作频率、增大等离子体炬内半径、增加射频线圈匝数并减小两匝线圈间距均能使发生器装置内的等离子体轴向速度减小,等离子体温度显著增加,并对等离子体炬内的流场分布产生较大的影响。因此可以通过改变相应的装置结构及工作频率来控制等离子体发生器装置内的温度和流场分布,以便使装置能够稳定运行。 展开更多
关键词 射频感应耦合 湍流等离子体 温度 流场 数值模拟
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工作气压对氩射频电感耦合等离子体模式转换的影响
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作者 熊文文 陈俊芳 +1 位作者 王燕 王勇 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2019年第1期16-21,共6页
采用朗格缪尔探针诊断装置测量电子能量和等离子体密度,利用发射光谱诊断装置测量发光强度,以判断实验腔室内的放电模式.结果表明:等离子体放电可以在E模式和H模式间相互转换,并且等离子体密度和发光强度随着射频功率的变化而出现反向... 采用朗格缪尔探针诊断装置测量电子能量和等离子体密度,利用发射光谱诊断装置测量发光强度,以判断实验腔室内的放电模式.结果表明:等离子体放电可以在E模式和H模式间相互转换,并且等离子体密度和发光强度随着射频功率的变化而出现反向滞后现象.当工作气压在0.36~0.42 Pa区间时,滞后现象不再发生.此外,随着工作气压的增大,E-H模转换的跳跃功率先减小而后增大,在工作气压为0.39 Pa时跳跃功率最低.射频功率越大,气体保持H模式放电所需气压的范围越大.研究结果可为实际工业生产中的气压控制提供参考依据. 展开更多
关键词 射频感应耦合等离子体 工作气压 ICP放电 光谱 LANGMUIR探针 E-H模式转换
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掺硅类金刚石薄膜的制备及其微观机械性能研究 被引量:1
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作者 王智 《河北化工》 2011年第8期66-68,共3页
采用射频感应耦合离子源(ICP)在硅基底上沉积了DLC薄膜,并利用离子束溅射固体单晶石墨的方法掺入Si元素。通过原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱对DLC薄膜的表面形貌及结构进行了分析表征。并用UTM-2摩擦磨损试验仪对薄膜进行了刻划测试,通... 采用射频感应耦合离子源(ICP)在硅基底上沉积了DLC薄膜,并利用离子束溅射固体单晶石墨的方法掺入Si元素。通过原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱对DLC薄膜的表面形貌及结构进行了分析表征。并用UTM-2摩擦磨损试验仪对薄膜进行了刻划测试,通过临界载荷的对比,分析了掺硅和纯DLC薄膜与基底的结合能力。结果表明,掺硅DLC薄膜具有良好的膜-基结合能力。 展开更多
关键词 Si-DLC薄膜 射频感应耦合 离子束溅 微观机械性能
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Conversion of CO2 by non-Thermal Inductively-Coupled Plasma Catalysis
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作者 Edwin Devid Maria Ronda-Lloret +3 位作者 Qiang Huang Gadi Rothenberg N.Raveendran Shiju Aart Kleyn 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2020年第2期243-251,I0003,I0041-I0045,共15页
CO2 decomposition is a very strongly endothermic reaction where very high temperatures are required to thermally dissociate CO2.Radio frequency inductively-coupled plasma enables to selectively activate and dissociate... CO2 decomposition is a very strongly endothermic reaction where very high temperatures are required to thermally dissociate CO2.Radio frequency inductively-coupled plasma enables to selectively activate and dissociate CO2 at room temperature.Tuning the flow rate and the frequency of the radio frequency inductively-coupled plasma gives high yields of CO under mild conditions.Finally the discovery of a plasma catalytic effect has been demonstrated for CO2 dissociation that shows a significant increase of the CO yield by metallic meshes.The metallic meshes become catalysts under exposure to plasma to activate the recombination reaction of atomic O to yield O2,thereby reducing the reaction to convert CO back to CO2.Inductively-coupled hybrid plasma catalysis allows access to study and to utilize high CO2 conversion in a non-thermal plasma regime.This advance offers opportunities to investigate the possibility to use radio frequency inductively-coupled plasma to store superfluous renewable electricity into high-valuable CO in time where the price of renewable electricity is plunging. 展开更多
关键词 CO2 Radio frequency inductively-coupled plasma Plasma reactor CONVERSION Metal mesh Quadrupole mass spectrometry X-ray photo-electron spectroscopy X-Ray diffraction Scanning electron microscopy
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