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10，6μmGe－Ag－Ni空心波导射频溅射镀膜的一种新方法
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作者 叶玉堂 叶莉娜 +3 位作者 王瑞峰 陈冠华 沈晓 洪永和 《应用科学学报》 CAS CSCD 1996年第4期488-492,共5页
该文提出一种射频溅射镀膜的新方法，讨论了该方法对小孔径１０．６μｍＧｅ－Ａｇ－Ｎｉ空心波导制作的意义，利用该方法已制成样品，同时给出并比较了几个不同孔径样品的光透射率．
关键词 空心波导 射频溅射镀膜 镀膜 软波导
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