射频电导轮廓的概念及应用

提出了粗糙表面射频电导轮廓的概念及物理意义,介绍了与射频电导轮廓相关的技术指标和测量、计算方法,对射频电导轮廓在分析计算粗糙表面射频等效电导率、优化射频微波器件加工工艺流程等方面的应用情况进行了简介。实验表明,研究成果与实测数据相吻合。