RF-PECVD法制备大面积类金刚石薄膜性能的研究

采用RF-PECVD法在锗、硅红外光学窗口上制备了大面积(基底直径φ=150～250 mm)类金刚石薄膜。采用拉曼光谱分析了大面积DLC膜的结构组成,对RF-PECVD法制备的大面积DLC膜的均匀性、红外光学性能、机械力学性能以及其抗恶劣环境的能力进行了检测和分析。膜层厚度均匀性在3％以内。锗、硅红外窗口双面镀制DLC膜后,极值透过率分别达92％和96％以上,可显著提高红外光学窗口的显微硬度。膜层具有极强的抗盐雾、耐海水腐蚀和抗摩擦的能力。

ui3D打印用钛及钛合金粉末制备工艺的研究现状

3D打印技术是目前研究较多的一种快速成型技术,钛及钛合金由于具有优异的物理、化学和力学性能,使其在多个领域广泛应用,钛及钛合金粉末是3D打印重要的原料。本文介绍了制备钛及钛合金粉末的方法,包括惰性气体雾化法、等离子旋转电极法和射频等离子体法,简单阐明了各种制备方法的原理、应用以及国内外的研究进展。

球形钛粉制备技术的研究进展

对气雾化法(GA法)、等离子旋转电极法(PREP法)、射频等离子体球化法(RFP法)制备球形钛粉的基本原理及研究进展进行了介绍,并对这三种方法的优缺点进行了对此,最后指出我国球形钛粉制备技术与国外仍存在一定差距,现阶段应重视粉体基础理论研究,摸索粉体物理性质与工艺参数之间的规律,通过不断改进制粉设备、优化制粉工艺来提高球形钛粉的制备水平,获得综合性能优良的球形钛粉。