小位移测量仪测杆运动控制及抗干扰方法研究

本文在分析了小位移测量仪测杆驱动原理的基础上提出了一种检测测杆上升高度的测杆控制方法。并通过对处理器控制大功率器件时所受干扰的具体分析,研究了硬件抗干扰措施和软件抗干扰方法,消除了测杆运动过程中大功率器件产生的干扰对测量过程的影响。

高阶模光学小位移测量系统中信号光功率对最小可测位移量的影响

实验搭建了高阶模光学小位移测量系统。利用高阶模作为本底光的平衡零拍系统进行测量,在600 kHz~3 MHz频率段,以200 kHz为间隔,分别测量了13个频率处的小位移,并给出了相应的最小可测位移量。在不同2 MHz信号光功率条件下,研究了压电陶瓷驱动电压、噪声功率谱、信噪比以及最小可测位移量之间的关系,并利用90μW的信号光获得了1.76×10^(-10) m的最小可测位移量。该结果为基于光束横向位移测量系统进一步减小测量范围的下限提供了理论与实验依据。

一种利用光反射原理测量小位移的新方法

提出一种利用光反射原理进行小位移量测量的设想 ,并对其进行了原理分析 ,同时给出了实际应用方法 ,最后结合实际应用对其进行了实验验证 ,证明了该原理的可行性和有效性。与机械位移放大法、电阻应变法、压电应变测量等传统小位移量测量方法相比较 ,该方法主要优点是 :对被测位移量干扰小 ,是一种非接触式测量方法 ;位移放大倍数高 ,且便于用户调节 ;测量精度高 ,实现容易 ,成本较低。