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入射角度对哮喘药物颗粒局部沉积率的影响
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作者 冯森 严思鑫 +1 位作者 崔彪 张治国 《生物医学工程研究》 2023年第3期218-223,共6页
为探究入射角度与哮喘药物颗粒局部沉积之间的相关性,本研究采用计算流体动力学方法对入射角度进行数值分析。首先,基于哮喘患者的CT数据,重建气雾剂吸入过程时近生理的瞬态计算力学模型;然后,运用计算流体动力学-离散相模型定量化分析... 为探究入射角度与哮喘药物颗粒局部沉积之间的相关性,本研究采用计算流体动力学方法对入射角度进行数值分析。首先,基于哮喘患者的CT数据,重建气雾剂吸入过程时近生理的瞬态计算力学模型;然后,运用计算流体动力学-离散相模型定量化分析入射角度对药物颗粒在呼吸道局部沉积率的影响。结果表明,哮喘药物颗粒在口腔及肺部沉积较多,在咽腔、喉腔及G0-G5支气管沉积较少;随着入射角度的增大,颗粒在口腔的沉积率呈先降低后升高趋势,在咽腔、喉腔、支气管及肺部的沉积率则呈先升高后降低趋势。本研究可为下气道靶向给药策略提供重要的理论依据,从而选择最佳给药策略。 展开更多
关键词 哮喘 药物颗粒 入射角 沉积 计算流体动力学
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沉积入射角度对热障涂层形貌和性能的影响
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作者 张彬 蔡妍 +3 位作者 张涛 常振东 曾令玉 牟仁德 《真空》 CAS 2023年第3期5-11,共7页
采用真空电弧镀(ARC)技术在DZ125合金基体上制备NiCrAlYSi(HY3)金属粘结层,然后采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术,分别以0°、20°、40°、60°和80°五种入射角度沉积氧化钇稳定氧化锆(6~8YSZ)陶瓷涂层,研究了... 采用真空电弧镀(ARC)技术在DZ125合金基体上制备NiCrAlYSi(HY3)金属粘结层,然后采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术,分别以0°、20°、40°、60°和80°五种入射角度沉积氧化钇稳定氧化锆(6~8YSZ)陶瓷涂层,研究了入射角度对涂层形貌和性能的影响。结果表明:五种入射角度的热障涂层均能形成柱状晶结构,随着入射角度增加,孔隙率和柱状晶倾斜角度均逐渐增加,涂层厚度逐渐减小;对带涂层试样进行结合强度测试,入射角度0°~40°时涂层的结合强度均在55MPa以上,入射角度增加到80°时,结合强度降低到15.7MPa;热冲击条件下,陶瓷面层和基体之间形成TGO,由于不同入射角度下涂层孔隙率不同,TGO生长速度不一致,导致其热冲击寿命存在明显差异,入射角度为0°~40°时涂层的热冲击寿命均超过4000次,入射角度为60°时涂层的热冲击寿命为3371次,入射角度为80°时涂层的热冲击寿命最短,仅为1836次。 展开更多
关键词 入射角 电子束物理气相沉积 热障涂层 结合强度 热冲击试验
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不同入射角度下强流脉冲电子束能量沉积剖面和束流传输系数模拟计算 被引量:9
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作者 杨海亮 邱爱慈 +2 位作者 张嘉生 黄建军 孙剑锋 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期778-782,共5页
强流脉冲电子束在材料中的能量沉积剖面、能量沉积系数和束流传输系数受其入射角的影响很大 ,理论计算了 0 .5~ 2 .0MeV的电子束以不同的入射角在Al材料中的能量沉积剖面和能量沉积系数 ,并且还计算了 0 .4~ 1.4MeV电子束以不同入射... 强流脉冲电子束在材料中的能量沉积剖面、能量沉积系数和束流传输系数受其入射角的影响很大 ,理论计算了 0 .5~ 2 .0MeV的电子束以不同的入射角在Al材料中的能量沉积剖面和能量沉积系数 ,并且还计算了 0 .4~ 1.4MeV电子束以不同入射角穿透不同厚度C靶的束流传输系数。计算结果表明 ,随着入射角的增大 ,靶材表面层单位质量中沉积的能量增大 ,电子在靶材料中穿透深度减小 ,能量沉积系数减小 ,相应的束流传输系数也减小 ;能量为 0 .5~ 2 .0MeV的电子束当入射角在 6 0°~ 展开更多
关键词 强流脉冲电子束 模拟计算 入射角 电子输运 能量沉积 束流传输系数 固体靶
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电子入射角对束流传输系数和能量沉积的影响
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作者 杨海亮 邱爱慈 +2 位作者 张嘉生 黄建军 孙剑锋 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第9期720-724,共5页
利用数值方法研究了不同能量 (0 .4— 1.4MeV)的电子束以不同的入射角穿透不同厚度碳靶的束流传输系数和能量沉积。计算结果表明 ,随着电子束入射角的增大 ,束流的传输系数减小 ,而较小入射角 (接近垂直入射角 )的电子在靶材料中穿透深... 利用数值方法研究了不同能量 (0 .4— 1.4MeV)的电子束以不同的入射角穿透不同厚度碳靶的束流传输系数和能量沉积。计算结果表明 ,随着电子束入射角的增大 ,束流的传输系数减小 ,而较小入射角 (接近垂直入射角 )的电子在靶材料中穿透深度更大 ;能量为 1.0— 1.4MeV的电子束当入射角在 6 0°— 展开更多
关键词 电子束 电子入射角 电子输运 束流传输系数 能量沉积 碳靶 材料 辐照效应
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离子束辅助沉积入射角对FexCr1-x合金薄膜微结构及磁性的影响
5
作者 谷宇 曾飞 +1 位作者 耿魁伟 潘峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期64-66,共3页
运用离子束辅助沉积技术在不同的离子束入射角(0°,15°,30°,45°,60°,75°)下,制备了的FexCr1-x合金薄膜(x=50,67),并对其微结构和磁性进行了研究.在两组不同成分的薄膜中,均发现仅在入射角为45°时,垂... 运用离子束辅助沉积技术在不同的离子束入射角(0°,15°,30°,45°,60°,75°)下,制备了的FexCr1-x合金薄膜(x=50,67),并对其微结构和磁性进行了研究.在两组不同成分的薄膜中,均发现仅在入射角为45°时,垂直于膜面的方向上出现了(002)择优取向,且伴随着膜面的平面磁各向异性,而在其他角度的情况下,无择优取向及平面磁各向异性获得.根据择优取向的形成机制,斜入射的离子束在沉积过程中起到了混合及沟道效应的作用. 展开更多
关键词 FexCt1-x合金薄膜 离子束辅助沉积 入射角 择优取向 磁各向异性
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一种强流脉冲电子束入射角等效计算方法 被引量:1
6
作者 孙剑锋 胡杨 +3 位作者 孙江 杨海亮 张鹏飞 金亮 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期137-140,共4页
对电子束能量沉积剖面的变化规律进行了解释,给出了由能量损失函数和能量沉积效率函数之积表示的定性的能量沉积函数表达式。在此基础上,给出了一种关于能量沉积剖面的电子束等效入射角计算方法,分析了方法所带来的影响和适用的范围,采... 对电子束能量沉积剖面的变化规律进行了解释,给出了由能量损失函数和能量沉积效率函数之积表示的定性的能量沉积函数表达式。在此基础上,给出了一种关于能量沉积剖面的电子束等效入射角计算方法,分析了方法所带来的影响和适用的范围,采用蒙特卡罗方法对等效结果进行了验证。证明该方法优于入射角的算术平均,尤其在靶材浅层与混合束符合较好。 展开更多
关键词 能量沉积剖面 强流脉冲电子束 入射角
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离子束入射角度对Co50Nb50薄膜微结构的影响
7
作者 吕方 曾飞 +1 位作者 谷宇 潘峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期18-21,共4页
利用离子束辅助沉积技术,通过改变离子束入射方向与薄膜表面法线的夹角,制备了一系列厚度为50 nm的Co50Nb50薄膜,并研究了离子束入射方向对薄膜表面结构的影响.实验中,离子束入射角分别为0°,30°,45°,75°和85°... 利用离子束辅助沉积技术,通过改变离子束入射方向与薄膜表面法线的夹角,制备了一系列厚度为50 nm的Co50Nb50薄膜,并研究了离子束入射方向对薄膜表面结构的影响.实验中,离子束入射角分别为0°,30°,45°,75°和85°(掠射).研究结果表明,所得到的薄膜均为非晶结构.离子束垂直入射(0°入射)时,薄膜表面产生渗流花样;入射角为30°时,渗流现象更加明显,薄膜表面粗糙度增大;随入射角增至45°,表面渗流现象减弱,薄膜变得平整;当入射角进一步增加到为75°,薄膜表面出现平行于入射方向的纳米条纹;离子束掠入射(85°入射)时,薄膜表面条纹的平均宽度减小,均匀性提高.研究表明上述表面结构的变化是原子沉积、离子束溅射和沉积原子热扩散共同作用的结果. 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 入射角 微结构
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含天然气水合物沉积物的岩石物性模型与似海底反射层的AVA特征 被引量:48
8
作者 宋海斌 Matsubayashi Osamu +3 位作者 杨胜雄 吴能友 江为为 郝天珧 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期546-556,共11页
研究含天然气水合物沉积物的岩石物性模型与似海底反射层的振幅随入射角变化 (AVA)特征 .基于时间平均 -Wood加权方程、三相介质波传播理论模型和弹性模量模型 ,计算并阐述含天然气水合物岩石弹性参数与水合物饱和度、含游离气岩石弹性... 研究含天然气水合物沉积物的岩石物性模型与似海底反射层的振幅随入射角变化 (AVA)特征 .基于时间平均 -Wood加权方程、三相介质波传播理论模型和弹性模量模型 ,计算并阐述含天然气水合物岩石弹性参数与水合物饱和度、含游离气岩石弹性参数与游离气饱和度的关系 ;给出不同模型AVA特征 .结果表明 ,不同天然气水合物饱和度、不同游离气饱和度的各种组合呈现形态相似但反射系数值不同的AVA特征 . 展开更多
关键词 天然气水合物 岩石物性 饱和度 振幅随入射角变化 似海底反射层 海洋沉积 游离气
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灰尘沉积影响光伏发电的理论和试验研究 被引量:23
9
作者 臧建彬 王亚伟 王晓东 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期624-629,共6页
根据NASA提出的重叠模型,推导出灰尘沉积影响太阳电池板表面太阳光透射率的入射角模型,该模型分析了灰尘半径R、单位面积灰尘沉积的质量ρ'和太阳入射角θ3个方面的影响因素。通过对不同模型计算结果的对比以及利用标准灰尘进行的... 根据NASA提出的重叠模型,推导出灰尘沉积影响太阳电池板表面太阳光透射率的入射角模型,该模型分析了灰尘半径R、单位面积灰尘沉积的质量ρ'和太阳入射角θ3个方面的影响因素。通过对不同模型计算结果的对比以及利用标准灰尘进行的试验验证,入射角模型能较全面和准确地分析灰尘沉积对光伏发电的影响程度。最后分析了入射角模型的应用场合和应用手段。 展开更多
关键词 灰尘沉积 光伏 透射率 入射角
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圆弧形沉积河谷场地在平面P波入射下的响应 被引量:52
10
作者 梁建文 严林隽 +1 位作者 李军伟 Vincent W.Lee 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期138-143,共6页
利用Fourier-Bessel级数展开法,在频域内给出了圆弧形沉积河谷场地在平面P波入射下动力响应的一个解析解,并分析了入射波波长、入射角度与河谷宽度、深度等因素对动力响应的影响。
关键词 圆弧形沉积河谷 平面P波 动力响应 入射波 波长 河谷宽度 地震波 入射角 放大作用
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强流脉冲离子束模型及辐照靶材能量沉积的模拟研究
11
作者 吴迪 宫野 +3 位作者 刘金远 王晓钢 刘悦 马腾才 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期28-31,共4页
强流脉冲离子束(IPIB)及其在靶材中沉积的能量是研究束流与靶材作用的基础.根据三束材料改性国家重点实验室从俄罗斯引进TEMPⅡ型加速器实测的磁绝缘二极管(MID)的加速电压波形及法拉第杯检测到的MID焦点处离子流密度波形,对其进行拟合... 强流脉冲离子束(IPIB)及其在靶材中沉积的能量是研究束流与靶材作用的基础.根据三束材料改性国家重点实验室从俄罗斯引进TEMPⅡ型加速器实测的磁绝缘二极管(MID)的加速电压波形及法拉第杯检测到的MID焦点处离子流密度波形,对其进行拟合得到高斯脉冲分布模型,以此为基础采用Monte Carlo方法模拟了离子在铝靶内沉积的能量,得到了一个脉冲内靶材内沉积的能量的时空演化规律.计算了单能离子束以20°~40°角入射铝靶情形.不同能量的单能H+束和C+束以一定角度入射时的最大射程比垂直入射时都要小,表面处单位长度沉积的能量随入射角的增加而增多.IPIB入射铝靶时变化规律同单能离子束.同时对H+和C+二维入射靶材情况也进行了模拟研究. 展开更多
关键词 强流脉冲离子束 数值研究 能量沉积 入射角
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斜离子束辅助沉积对Co_(30)Nb_(70)薄膜结构及其热稳定性的影响 被引量:2
12
作者 丁宇清 曾飞 +2 位作者 谷宇 耿魁伟 潘峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期61-65,共5页
本文研究了离子束辅助沉积(IBAD)Co30Nb70薄膜过程中离子束入射角对薄膜微结构及热稳定性的影响。实验结果表明,在0°到75°范围内改变离子束入射角均可得到Co30Nb70非晶薄膜,但样品微结构出现变化,观察到多孔和沟槽结构。所有... 本文研究了离子束辅助沉积(IBAD)Co30Nb70薄膜过程中离子束入射角对薄膜微结构及热稳定性的影响。实验结果表明,在0°到75°范围内改变离子束入射角均可得到Co30Nb70非晶薄膜,但样品微结构出现变化,观察到多孔和沟槽结构。所有样品经300℃退火30 min,入射角为45°制备的样品出现强织构bcc亚稳相,其它入射角沉积的样品均保持非晶相。继续将样品在450℃退火30 min,入射角45°沉积的样品中bcc亚稳相消失,溶入非晶相;15°和75°入射沉积的样品开始晶化。分析认为:离子束入射角变化引起的原子混合效应的改变,以及薄膜中的多孔结构对上述变化有重要影响。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 非晶 多孔结构 入射角 热稳定性
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斜离子束辅助沉积对Co_(80)Nb_(20)薄膜结构及磁性能的影响 被引量:1
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作者 李晓伟 丁宇清 +3 位作者 曾飞 谷宇 耿魁伟 潘峰 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1827-1832,共6页
采用斜离子束辅助沉积(IBAD)方法制备了Co80Nb20合金薄膜,研究了离子束入射角度对薄膜结构、组织及磁性能的影响。结果表明:当离子束入射角度小于30°时形成fcc亚稳合金薄膜,入射角增大到30°后转变为hcp固溶体;Co80Nb20薄膜均... 采用斜离子束辅助沉积(IBAD)方法制备了Co80Nb20合金薄膜,研究了离子束入射角度对薄膜结构、组织及磁性能的影响。结果表明:当离子束入射角度小于30°时形成fcc亚稳合金薄膜,入射角增大到30°后转变为hcp固溶体;Co80Nb20薄膜均表现出平面易磁化特征,在入射角小于75°时Co80Nb20薄膜矫顽力较小;当离子束入射角度增大到75°后,薄膜在平行膜面方向矫顽力明显增大,而垂直膜面方向矫顽力减小。从理论上讨论了离子束入射角度对原子混合、热峰效应、薄膜内应力及亚稳结构形成的影响。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 入射角
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声波在水-含气沉积物界面的反射 被引量:3
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作者 郑广赢 黄益旺 华健 《声学学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第6期961-967,共7页
含气泡海洋沉积物的声学特性是海底探测的重要问题。为了研究气泡存在对水-含气沉积物界面声反射系数的影响,本文基于气泡振动修正的Biot波动方程推导了气泡存在修正的Biot弹性模量,并结合水-沉积物界面的“开孔”边界条件推导了声波... 含气泡海洋沉积物的声学特性是海底探测的重要问题。为了研究气泡存在对水-含气沉积物界面声反射系数的影响,本文基于气泡振动修正的Biot波动方程推导了气泡存在修正的Biot弹性模量,并结合水-沉积物界面的“开孔”边界条件推导了声波从水入射到水-含气沉积物界面的反射系数。数值分析表明气泡的振动导致反射系数呈现显著的频率特性。在气泡共振频率附近,由于气泡的共振引发的强散射和强衰减,使得反射系数很大,无论以何种角度入射,声波都很难进入含气泡的沉积物。本文研究结果表明,气泡半径、含量、声波频率以及入射角度都是影响水-含气沉积物界面反射系数的主要因素。 展开更多
关键词 沉积物界面 反射系数 声波频率 结合水 含气 气泡振动 入射角 共振频率
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离子束辅助沉积改善铝薄膜的取向生长
15
作者 谷宇 曾飞 +1 位作者 高阳 潘峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期500-503,共4页
高性能的铝薄膜因具有低的声阻抗而广泛应用于声表面波器件的制备。本文运用Ar离子束辅助沉积技术,在64°Y-X切向的铌酸锂基片上成功的制备出(111)高度取向的铝薄膜,并研究了Ar离子的注入角度对薄膜的织构形成的影响。结果表明,薄... 高性能的铝薄膜因具有低的声阻抗而广泛应用于声表面波器件的制备。本文运用Ar离子束辅助沉积技术,在64°Y-X切向的铌酸锂基片上成功的制备出(111)高度取向的铝薄膜,并研究了Ar离子的注入角度对薄膜的织构形成的影响。结果表明,薄膜织构度对辅助离子束入射角度非常敏感,在辅助离子束入射角为35°时,薄膜(111)织构最强,电阻率最小,附着力最好,适合于声表面波器件中的应用。 展开更多
关键词 高织构铝薄膜 离子束辅助沉积 入射角 机械性能 沟道效应
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影响金属细米薄膜沉积初期因素的模拟研究
16
作者 宋鹏 《表面工程资讯》 2005年第1期9-9,共1页
昆明理工大学材料与冶金工程学院利用有限单元法对影响金属纳米薄膜生长初期的影响因素进行了计算机模拟。按膜料分为P1、P1-Ru、Pt-Ti、Pt-Ni、Pt-Al等5种模式,采用刚性球入射到C或Si基层.重点研究了基底的硬度、半径差异比、原子入... 昆明理工大学材料与冶金工程学院利用有限单元法对影响金属纳米薄膜生长初期的影响因素进行了计算机模拟。按膜料分为P1、P1-Ru、Pt-Ti、Pt-Ni、Pt-Al等5种模式,采用刚性球入射到C或Si基层.重点研究了基底的硬度、半径差异比、原子入射角和沉积原子能量等参数对薄膜沉积的影响,同时检验了有限元方法在微观领域中的合理性和适用性。 展开更多
关键词 昆明理工大学材料与冶金工程学院 有限单元法 金属纳米薄膜 沉积 半径差异比 原子入射角
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菲涅耳透镜的制作及性能分析(对准误差的影响)(英文)
17
作者 李红军 卢振武 +1 位作者 廖江红 翁志成 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期325-330,共6页
我们使用薄膜沉积法制作 1 6阶菲涅耳透镜 ,其衍射效率接近 87% .用它代替常规的光学透镜可实现系统的轻量化、小型化、增加系统设计的自由度 .在标量衍射理论的基础上 ,应用菲涅耳公式和傅里叶变换分析 Si O2 薄膜和基底的表面反射、... 我们使用薄膜沉积法制作 1 6阶菲涅耳透镜 ,其衍射效率接近 87% .用它代替常规的光学透镜可实现系统的轻量化、小型化、增加系统设计的自由度 .在标量衍射理论的基础上 ,应用菲涅耳公式和傅里叶变换分析 Si O2 薄膜和基底的表面反射、对准误差以及入射角对 1 6阶菲涅耳透镜衍射效率的影响 . 展开更多
关键词 薄膜沉积 菲涅耳透镜 表面反射 对准误差 入射角 衍射效率
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实时斜离子轰击对Co-Cu合金薄膜结构和磁各向异性影响
18
作者 曾飞 高阳 +1 位作者 樊宇伟 潘峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期17-19,27,共4页
从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co-Cu合金薄膜.当离子束入射角度为45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相.对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子束入射平面的方向易磁化.斜离子束在制备过... 从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co-Cu合金薄膜.当离子束入射角度为45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相.对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子束入射平面的方向易磁化.斜离子束在制备过程中起到了混合效应和沟道效应的作用. 展开更多
关键词 Co-Cu合金薄 膜离子束辅助沉积 入射角 织构 易磁化
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工艺参数对图案化金属铜膜结构和光学性能的影响
19
作者 苏江滨 李星星 +1 位作者 王红红 蒋美萍 《常州大学学报(自然科学版)》 CAS 2016年第1期23-27,共5页
为了系统研究工艺参数对图案化金属铜膜的影响,进一步优化产物的结构和光学性能,研究通过改变薄膜厚度、衬底偏压和衬底温度等工艺参数在玻璃衬底上沉积了图案化金属铜膜。利用粉末x射线衍射仪和紫外可见分光光度计分别研究了工艺参... 为了系统研究工艺参数对图案化金属铜膜的影响,进一步优化产物的结构和光学性能,研究通过改变薄膜厚度、衬底偏压和衬底温度等工艺参数在玻璃衬底上沉积了图案化金属铜膜。利用粉末x射线衍射仪和紫外可见分光光度计分别研究了工艺参数对图案化金属铜膜的晶体结构和光学吸收特性的影响。研究结果表明,在晶体结构方面,图案化金属铜膜具有良好的Cu(111)择优取向,并且衍射峰强度随薄膜厚度、衬底温度的增加而增强,随衬底偏压的增加而减弱。在光学性质方面,图案化金属铜膜在630-660nm红光波段出现反常光学吸收。而且,吸收峰的强度、峰位和半高宽可以通过调节薄膜厚度、衬底偏压和衬底温度加以控制。 展开更多
关键词 小入射角沉积 图案化金属铜膜 晶体结构 反常光学吸收
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薄膜的自组织设计及形貌控制(英文) 被引量:2
20
作者 周小燕 邓宏 +2 位作者 姜斌 李燕 王恩信 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期9-13,共5页
采用单源化学气相沉积 (SSCVD)法 ,在Si( 1 0 0 )基片上通过改变前驱反应体与基片的入射角度 ,获得了可控柱状取向的ZnO薄膜。研究发现 ,入射角度的改变可使沉积薄膜中的柱状结构的生成方向倾斜。但X射线衍射 (XRD)分析表明 :ZnO薄膜的c... 采用单源化学气相沉积 (SSCVD)法 ,在Si( 1 0 0 )基片上通过改变前驱反应体与基片的入射角度 ,获得了可控柱状取向的ZnO薄膜。研究发现 ,入射角度的改变可使沉积薄膜中的柱状结构的生成方向倾斜。但X射线衍射 (XRD)分析表明 :ZnO薄膜的c轴 ( 0 0 2 )取向与入射角无关 ,且不沿ZnO柱状结构的生长方向取向。由于ZnO的 ( 0 0 2 )面为其表面自由能最低且原子密度高的晶面 ,ZnO薄膜的生长更易于在垂直于基片表面的方向c轴取向生长。 展开更多
关键词 氧化锌薄膜 自组织设计 单源化学气相沉积 柱状结构 入射角 X射线衍射分析 C轴取向
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