点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究

在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。分析了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技术的加工原理、加工精度及技术特点。采用优质航空铝,利用单点金刚石机床和聚焦离子束设备,采用精密制备工艺,分别制备了小孔直径1.47μm和1.11μm的小孔掩模并利用扫描电子显微镜对其进行了检测。实验结果表明,聚焦离子束刻蚀是实现直径微米量级的小孔加工的有效手段,为获得较好的圆度和三维形貌,小孔掩模加工区域需保证较小的深径比。

点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展

在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。介绍了小孔掩模的结构与作用原理,对小孔衍射电磁场仿真技术进行了分类比较。对国内外现有小孔掩模加工技术的发展进行了归纳总结,阐述了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技术的加工原理、加工精度及技术特点,指出了掩模对准精度对测量重复性的影响。分析了各种检测方法及存在的主要技术问题,并对小孔三维形貌的测量技术进行了展望。