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关于超小尺寸器件的等效标准漏率判据的讨论
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作者 肖汉武 李阳 《真空与低温》 2024年第6期616-622,共7页
对于内空腔容积小于0.01 cm^(3)的超小尺寸密封器件,在器件贮存期内环境气氛对其内部水汽含量的影响尤为明显,在较短的储存期内水汽含量有可能超过2%,并趋于饱和,无法满足0.5%的规范要求。在进行氦气背压法检漏时,还存在器件候检阶段测... 对于内空腔容积小于0.01 cm^(3)的超小尺寸密封器件,在器件贮存期内环境气氛对其内部水汽含量的影响尤为明显,在较短的储存期内水汽含量有可能超过2%,并趋于饱和,无法满足0.5%的规范要求。在进行氦气背压法检漏时,还存在器件候检阶段测量漏率快速下降的问题。讨论了超小尺寸器件密封试验的等效标准漏率判据不足问题,提出了相应的密封性评价方法。 展开更多
关键词 小尺寸器件 等效标准漏率 最小理论漏率 泄漏时间常数 严酷等级
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小尺寸器件栅隧穿电流预测模型 被引量:1
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作者 吴铁峰 张鹤鸣 胡辉勇 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期312-316,共5页
针对具有超薄氧化层的MOS器件,使用积分方法,提出了一个新的栅隧穿电流与氧化层厚度关系的理论预测模型,在此基础上使用HSPICE对MOS器件的特性进行了详细的研究,并定量分析了器件的工作情况,预测了在栅隧穿电流的影响下小尺寸器件的特... 针对具有超薄氧化层的MOS器件,使用积分方法,提出了一个新的栅隧穿电流与氧化层厚度关系的理论预测模型,在此基础上使用HSPICE对MOS器件的特性进行了详细的研究,并定量分析了器件的工作情况,预测了在栅隧穿电流的影响下小尺寸器件的特性变化趋势。使用BSIM 4模型进行仿真的结果与所提出的理论模型相符合。 展开更多
关键词 器件仿真 栅隧穿电流模型 栅氧化层 积分法 小尺寸器件
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小尺寸器件气密性封装工艺的水汽控制 被引量:1
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作者 严雨宁 沈娟 +1 位作者 王君 陈杰 《传感器世界》 2019年第11期13-16,共4页
随着对产品可靠性要求和检测技术的提高,对小尺寸器件的水汽控制提出了明确要求。本文分析了水汽偏高的原因,提出了小尺寸器件水汽控制的技术要点,设计了金锡合金封装工艺方法。选用金锡合金预成型焊环作为封装材料,通过大量试验摸索出... 随着对产品可靠性要求和检测技术的提高,对小尺寸器件的水汽控制提出了明确要求。本文分析了水汽偏高的原因,提出了小尺寸器件水汽控制的技术要点,设计了金锡合金封装工艺方法。选用金锡合金预成型焊环作为封装材料,通过大量试验摸索出一种较佳的封装工艺控制程序,有效解决了小尺寸器件的水汽控制问题,保证了产品的电性能和可靠性。 展开更多
关键词 小尺寸器件 水汽含量 金锡焊料 气密性封装
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光学微电子机械系统:用于小尺寸器件的巨大可能性
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《激光与光电子学进展》 CSCD 1999年第2期6-10,39,共6页
诸如XYZ微型定位器、转动光栅和CD-ROM中的微聚焦透镜等的光机械部件都是许多光学系统必不可少的元件。XYZ微定位器用于对准光学系统;转动光栅和标准具用于改变可调谐激光器的波长;聚焦透镜总是运动的,目的是保持CD-... 诸如XYZ微型定位器、转动光栅和CD-ROM中的微聚焦透镜等的光机械部件都是许多光学系统必不可少的元件。XYZ微定位器用于对准光学系统;转动光栅和标准具用于改变可调谐激光器的波长;聚焦透镜总是运动的,目的是保持CD-ROM的聚焦和跟踪。遗憾的是,普通... 展开更多
关键词 光学 微电子机械系统 小尺寸器件 应用
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利用小尺寸电荷耦合器件实现数字全息高分辨成像 被引量:2
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作者 王华英 于梦杰 +3 位作者 江亚男 宋修法 朱巧芬 刘飞飞 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第24期168-177,共10页
为了在降低数字全息显微成像系统成本的同时实现高分辨成像,对像面数字全息显微术的记录与再现过程进行了理论分析,结合系统的点扩散函数,对该系统的横向分辨率进行了分析.得到了如下结论:像面数字全息显微系统的横向分辨率对电荷耦合器... 为了在降低数字全息显微成像系统成本的同时实现高分辨成像,对像面数字全息显微术的记录与再现过程进行了理论分析,结合系统的点扩散函数,对该系统的横向分辨率进行了分析.得到了如下结论:像面数字全息显微系统的横向分辨率对电荷耦合器件(CCD)光敏面尺寸变化不敏感;对于常见的CCD器件,其像元尺寸的变化对该系统的横向分辨率影响甚微.此外,对像面数字全息显微系统的成像特点进行了分析,结果表明:利用像面数字全息系统可以实现物体信息的完整记录与再现,其成像分辨率及像质优于预放大数字全息系统.利用搭建的数字全息实验记录系统,从强度及位相两方面对理论分析结果进行了验证,实验结果表明了理论分析的正确性. 展开更多
关键词 像面数字全息术 横向分辨率 点扩散函数 小尺寸电荷耦合器件
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自动测试设备中电缆损耗补偿 被引量:2
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作者 易燕 刘波 《计算机与数字工程》 2009年第11期163-165,共3页
自动测试设备(ATE)中包含了非常复杂的集成电路,专门用于驱动设备的每个引脚。而各个测试设备供应商为了降低成本,采用了质量较差的电缆来连接各个引脚,从而产生了一定的电缆损耗。为了补偿这种损耗,文章采用小尺寸引脚电子器件(PE)来... 自动测试设备(ATE)中包含了非常复杂的集成电路,专门用于驱动设备的每个引脚。而各个测试设备供应商为了降低成本,采用了质量较差的电缆来连接各个引脚,从而产生了一定的电缆损耗。为了补偿这种损耗,文章采用小尺寸引脚电子器件(PE)来驱动电缆,通过适当的电子电路来补偿电缆损耗,使ATE系统性能接近PE所能提供的性能指标,达到无需考虑电缆损耗问题的目的。 展开更多
关键词 自动测试设备 电缆损耗 小尺寸引脚电子器件 信号补偿 MAX9979
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Soft error reliability in advanced CMOS technologies—trends and challenges 被引量:4
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作者 TANG Du HE ChaoHui +3 位作者 LI YongHong ZANG Hang XIONG Cen ZHANG JinXin 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2014年第9期1846-1857,共12页
With the decrease of the device size,soft error induced by various particles becomes a serious problem for advanced CMOS technologies.In this paper,we review the evolution of two main aspects of soft error-SEU and SET... With the decrease of the device size,soft error induced by various particles becomes a serious problem for advanced CMOS technologies.In this paper,we review the evolution of two main aspects of soft error-SEU and SET,including the new mechanisms to induced SEUs,the advances of the MCUs and some newly observed phenomena of the SETs.The mechanisms and the trends with downscaling of these issues are briefly discussed.We also review the hardening strategies for different types of soft errors from different perspective and present the challenges in testing,modeling and hardening assurance of soft error issues we have to address in the future. 展开更多
关键词 soft error rate direct ionization indirect ionization multiple errors single event transient HARDENING CHALLENGES
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