一种高精度小微气体流量发生器

介绍了一种可测量小微气体流量且测量准确度很高的气体流量发生器。其发生器的核心组件为一副竖直的活塞系统,活塞筒中部开一侧孔,上下两端各有一个活塞环,侧孔外接补偿容器。文章对发生器的工作压力、输出流量、流量平衡、补偿过程等进行研制和研究,给出发生器的工作原理、设计方案、工作步骤、设计要点等,并进行定位和总结。

小微气体流量计量技术的应用

小微气体流量测量技术广泛应用于航空航天、半导体加工、医疗生物、电子汽车等行业。随着气体小流量测试技术研究的深入,高精度、高可靠的气体小流量标准装置也不断发展。依据层流元件的结构特性可以看出,层流流量计作为标准表也越来越受计量检测单位的重视,其精度高、耐高压、体积小、结构简单、系统装置操作简易,是一个高精度、范围宽的小微气体流量标准装置。已研制成功的基于层流技术的小微气体流量标准装置在国内首次形成便携的小微气体流量计量技术能力。