-
题名一种高精度小微气体流量发生器
被引量:1
- 1
-
-
作者
纪建英
王灿喜
-
机构
山东省计量科学研究院
-
出处
《上海计量测试》
2018年第6期37-39,共3页
-
文摘
介绍了一种可测量小微气体流量且测量准确度很高的气体流量发生器。其发生器的核心组件为一副竖直的活塞系统,活塞筒中部开一侧孔,上下两端各有一个活塞环,侧孔外接补偿容器。文章对发生器的工作压力、输出流量、流量平衡、补偿过程等进行研制和研究,给出发生器的工作原理、设计方案、工作步骤、设计要点等,并进行定位和总结。
-
关键词
计量学
高精度
小微气体流量
发生器
-
Keywords
metrology
high accuracy
micro gas flow
generator
-
分类号
TH814
[机械工程—精密仪器及机械]
-
-
题名小微气体流量计量技术的应用
被引量:1
- 2
-
-
作者
张靓
陆春
孙国杰
佘彬杰
张慧剑
-
机构
南通市计量检定测试所
-
出处
《仪器仪表标准化与计量》
2022年第2期15-17,共3页
-
文摘
小微气体流量测量技术广泛应用于航空航天、半导体加工、医疗生物、电子汽车等行业。随着气体小流量测试技术研究的深入,高精度、高可靠的气体小流量标准装置也不断发展。依据层流元件的结构特性可以看出,层流流量计作为标准表也越来越受计量检测单位的重视,其精度高、耐高压、体积小、结构简单、系统装置操作简易,是一个高精度、范围宽的小微气体流量标准装置。已研制成功的基于层流技术的小微气体流量标准装置在国内首次形成便携的小微气体流量计量技术能力。
-
关键词
小微气体流量测量
气体流量计
气体流量标准装置
计量技术
层流技术
-
Keywords
Micro Gas Flow Measurement
Gas Flowmeter
Gas Flow Rate Standard Device
Measuremcnt Technique
Laminar Flow Technique
-
分类号
TB937
[机械工程—测试计量技术及仪器]
-