洁净室气密性检测方法研究——国标《洁净室施工及验收规范》编制组研讨系列课题之八

分析了在正、负压洁净室进行洁净室气密性验证的重要性,对洁净室气密性相关问题进行了理论计算,给出了具体检测方法,并进行了实验研究。结果表明,一个密封很好的洁净室,500Pa压力的半衰期不足5min,小时泄漏率不到10。