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小特征尺寸材料结构的演化
1
作者
Z.Suo
李海军
+2 位作者
郭万林
王克仁
Yanfei Gao
《力学进展》
EI
CSCD
北大核心
2002年第1期141-150,共10页
现代的电子和光子器件都是小特征尺寸的固体结构.在制造和使用中,扩散过程能够重置物质,因此结构随时间演化.膜可能破裂成小滴(droplets),导线上可能长出孔穴.人们早就知道应力和电流是驱动这些变化的力.这些力尽管重...
现代的电子和光子器件都是小特征尺寸的固体结构.在制造和使用中,扩散过程能够重置物质,因此结构随时间演化.膜可能破裂成小滴(droplets),导线上可能长出孔穴.人们早就知道应力和电流是驱动这些变化的力.这些力尽管重要,但越来越多的事实表明,它们不足以说明各种不同的试验现象,这说明其它物理来源的力也起作用.在结构中,原子、电子和光子的集体作用都对结构的自由能作出贡献.结构一旦改变其构形,其自由能也发生变化,自由能的改变定义了一种热力学的力,它反过来驱动结构的构形变化.本文通过一些特别的现象来阐明这些概念,重点放在不同来源的力的物理描述上,这些来源包括弹性、静电、毛细作用、电流、成分梯度、光子散射和电子约束.其中一些力的作用在小特征尺寸例如几nm到几百nm的结构中尤为重要.随着仪器的小型化,对这些力的认识变得日益重要.这一领域的研究极有希望带来固体力学的革新.
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关键词
结构演化
自由能
自组装
驱动力
小特征尺寸
固体结构
构形力
模拟工具
固体力学
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职称材料
信息化时代与半导体微电子技术
2
作者
卢豫曾
《科学中国人》
1999年第3期17-19,共3页
一,信息化是促进我国经济发展,增强我国综合国力的重要手段 随着冷战时代的结束和经济全球化进程的加快,在当代的国际关系中世界各国都更加重视自己经济的发展和自身经济实力的加强。克林顿总统曾强调指出:“
关键词
半导体微电子技术
信息化时代
国民经济信息化
科学技术
精确制导武器
纳米
小特征尺寸
信息技术
微型机电系统
国防现代化
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职称材料
题名
小特征尺寸材料结构的演化
1
作者
Z.Suo
李海军
郭万林
王克仁
Yanfei Gao
机构
Mechanical and Aerospace Engineering Department
南京航空航天大学航空宇航学院
中国科学院力学研究所
MAE Dept.
出处
《力学进展》
EI
CSCD
北大核心
2002年第1期141-150,共10页
文摘
现代的电子和光子器件都是小特征尺寸的固体结构.在制造和使用中,扩散过程能够重置物质,因此结构随时间演化.膜可能破裂成小滴(droplets),导线上可能长出孔穴.人们早就知道应力和电流是驱动这些变化的力.这些力尽管重要,但越来越多的事实表明,它们不足以说明各种不同的试验现象,这说明其它物理来源的力也起作用.在结构中,原子、电子和光子的集体作用都对结构的自由能作出贡献.结构一旦改变其构形,其自由能也发生变化,自由能的改变定义了一种热力学的力,它反过来驱动结构的构形变化.本文通过一些特别的现象来阐明这些概念,重点放在不同来源的力的物理描述上,这些来源包括弹性、静电、毛细作用、电流、成分梯度、光子散射和电子约束.其中一些力的作用在小特征尺寸例如几nm到几百nm的结构中尤为重要.随着仪器的小型化,对这些力的认识变得日益重要.这一领域的研究极有希望带来固体力学的革新.
关键词
结构演化
自由能
自组装
驱动力
小特征尺寸
固体结构
构形力
模拟工具
固体力学
Keywords
structural evolution, small feature size, free energy, self-assembly, driving force
分类号
O342 [理学—固体力学]
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职称材料
题名
信息化时代与半导体微电子技术
2
作者
卢豫曾
机构
电子科技大学
出处
《科学中国人》
1999年第3期17-19,共3页
文摘
一,信息化是促进我国经济发展,增强我国综合国力的重要手段 随着冷战时代的结束和经济全球化进程的加快,在当代的国际关系中世界各国都更加重视自己经济的发展和自身经济实力的加强。克林顿总统曾强调指出:“
关键词
半导体微电子技术
信息化时代
国民经济信息化
科学技术
精确制导武器
纳米
小特征尺寸
信息技术
微型机电系统
国防现代化
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
小特征尺寸材料结构的演化
Z.Suo
李海军
郭万林
王克仁
Yanfei Gao
《力学进展》
EI
CSCD
北大核心
2002
0
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职称材料
2
信息化时代与半导体微电子技术
卢豫曾
《科学中国人》
1999
0
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职称材料
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