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小磨头自适应抛光抑制高精度非球面中频误差
被引量:
15
1
作者
张健
代雷
+1 位作者
王飞
王立朋
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期194-200,共7页
研究了高精度非球面中频误差的抑制方法和磨头抑制特性等问题,提出了一种小磨头自适应抛光抑制中频误差的方法。将铣磨后中频误差明显的非球面进行预抛光,以去除亚表面损伤。使用气囊抛光方法将非球面面形精抛到较高精度。使用自研的双...
研究了高精度非球面中频误差的抑制方法和磨头抑制特性等问题,提出了一种小磨头自适应抛光抑制中频误差的方法。将铣磨后中频误差明显的非球面进行预抛光,以去除亚表面损伤。使用气囊抛光方法将非球面面形精抛到较高精度。使用自研的双柔性自适应抛光磨头进行多轮抛光抑制精抛后非球面表面残留的中频误差,并使用计算全息(CGH)进行面形检测,直到Zernike残差不再收敛。使用此方法成功抛光了一块口径为150mm、最大偏离度为0.183mm的熔石英非球面。通过3轮中频误差抑制,面形方均根值(RMS)从预抛光后的76nm收敛至4.5nm;相应地,Zernike残差RMS由精抛后的22.72nm收敛至3.46nm。实验结果表明,该方法可以实现非球面中频误差的快速有效抑制。
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关键词
光学制造
中频误差抑制
小磨头自适应抛光
Zernike残差
非球面
原文传递
题名
小磨头自适应抛光抑制高精度非球面中频误差
被引量:
15
1
作者
张健
代雷
王飞
王立朋
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期194-200,共7页
基金
国家科技重大专项(2009ZX02205)
文摘
研究了高精度非球面中频误差的抑制方法和磨头抑制特性等问题,提出了一种小磨头自适应抛光抑制中频误差的方法。将铣磨后中频误差明显的非球面进行预抛光,以去除亚表面损伤。使用气囊抛光方法将非球面面形精抛到较高精度。使用自研的双柔性自适应抛光磨头进行多轮抛光抑制精抛后非球面表面残留的中频误差,并使用计算全息(CGH)进行面形检测,直到Zernike残差不再收敛。使用此方法成功抛光了一块口径为150mm、最大偏离度为0.183mm的熔石英非球面。通过3轮中频误差抑制,面形方均根值(RMS)从预抛光后的76nm收敛至4.5nm;相应地,Zernike残差RMS由精抛后的22.72nm收敛至3.46nm。实验结果表明,该方法可以实现非球面中频误差的快速有效抑制。
关键词
光学制造
中频误差抑制
小磨头自适应抛光
Zernike残差
非球面
Keywords
optical fabrication
restraint of mid-spatial-frequency error
adaptive polishing by small tools
Zernikeresidual
asphere
分类号
TQ171.684 [化学工程—玻璃工业]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
小磨头自适应抛光抑制高精度非球面中频误差
张健
代雷
王飞
王立朋
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
15
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