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题名小腔体元器件内部气氛检测修正因子适用性分析
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作者
秦国林
朱朝轩
罗俊
谭骁洪
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机构
中国电子科技集团公司第二十四研究所
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出处
《微电子学》
CAS
北大核心
2020年第2期287-290,296,共5页
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基金
模拟集成电路国家重点实验室基金资助项目(6142802040805)。
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文摘
对国军标548B-2005中提出的小腔体元器件内部水汽检测修正因子进行了适用性分析。提出修正系数λ,并引入修正因子表达式中。选择三种内腔体积的管子,封入一定含量的标准气体。在相同条件下进行了内部气氛检测及修正。通过与标准气体对比,获得了λ的值,并利用Matlab软件进行分析。结果表明,内部气氛实测值随内腔体积的减小而增大,并且更离散,呈单调递减。λ在0.001~0.01 cm^3内腔体积范围内适用。但内腔体积进一步减小后,必会出现修正因子的适用性问题。
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关键词
小腔体元器件
气氛检测
修正因子
适用性分析
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Keywords
small cavity component
internal residual gas detection
correction factor
applicability analysis
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分类号
TN306
[电子电信—物理电子学]
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