射频等离子体中尘埃空洞演化研究

本文利用实验过程中直接产生尘埃粒子的方法,实验气体是乙烯和硅烷,氩气是载气。在射频等离子体鞘层内形成尘埃云及尘埃空洞。通过观察尘埃云体积的变化及尘埃空洞随时间的周期振荡现象,分析尘埃空洞的基本性质,通过记录尘埃颗粒随时间的运动轨迹,初步推断出尘埃颗粒的受力情况,结合尘埃颗粒和尘埃空洞的运动规律,得出射频等离子体中尘埃空洞的特性及形成原因。

反应等离子体中尘埃空洞形成的实验研究

利用气体合成(乙烯和硅烷,氩气是载气)的方法,产生尘埃粒子,并在此基础上研究了悬浮在射频等离子体鞘层上方的尘埃云及尘埃空洞.实验结果给出了尘埃云和尘埃空洞与射频功率和气压等参数的关系曲线.