多晶硅生产洁净区域洁净度的检测及管理

多晶硅生产洁净区域的洁净度直接影响着半导体多晶硅产品的质量。通过对洁净度的等级、有效控制方法、检测方式及其设备等内容的简单介绍,阐述了如何对多晶硅洁净区域洁净度进行有效的检测及管理。