Mo/Al/Mo结构电极的坡度角和关键尺寸差研究

Mo/Al/Mo结构金属作为TFT的电极,刻蚀后的坡度角和关键尺寸差是重要的参数。明确影响坡度角和关键尺寸差的工艺参数,进而控制坡度角和关键尺寸差,这对工艺制程至关重要。本文探究了膜层结构、曝光工艺、刻蚀工艺对坡度角和关键尺寸差的影响,并对刻蚀工艺进行正交试验设计。实验结果表明:Al膜厚每减小60nm,坡度角下降约9°,关键尺寸差增加0.1μm。曝光工艺中,显影后烘烤会增加光阻粘附力,导致关键尺寸差减小0.1μm,同时坡度角增加约9°。刻蚀工艺中,过刻量每增加10%,坡度角下降3.3°,关键尺寸差增加0.14μm;正交试验结果表明,对关键尺寸差、刻蚀均一性、坡度角影响因素的重要性顺序是:液刀流量>Air Plasma电压>水刀流量。经上述探究表明,坡度角和关键尺寸差呈负相关关系,刻蚀程度增加,关键尺寸差增加,而坡度角则减小。可以通过调节工艺参数对坡度角和关键尺寸差进行控制。

工字钢尺寸超差原因分析及改进措施

工字钢主要应用在矿山和隧道中,由于轧机的原因,使工字钢出现中心偏差,导致工字钢在加工弯曲过程中出现扭曲现象。通过调整BD开坯机料形不对称、减少精轧万能轧机水平辊轴错以及精轧导卫安装高低等方面的改进后,中心偏差得到了很好的改善。结果表明:将BD开坯机进口导卫提升1~7 mm,精轧万能轧机水平辊轴错≤0.2 mm,精轧进口导卫提升1~5 mm,轧机装机准确率≥99%,工字钢中心偏差得到很好的解决,外形尺寸合格率≥99.98%;由工字钢中心偏差导致的质量异议下降73%,为公司产品差异化发展创造了有利条件。

基于尺寸容差的虚拟装配公差优化设计

提出了一种基于虚拟装配尺寸容差的公差优化设计新算法:由定义创建配合信息矩阵,并从矩阵中快速搜寻配合信息、生成装配尺寸链;依据田口品质损失理论,同时采用多元微分法或遗传算法的模拟求解法得到优化的装配公差。

尺寸相互差对配对轴承动态特性影响分析

角接触球轴承在配对过程中,对于各项尺寸数据要求极其严格,如果要实现万能组配,不仅在生产工序、加工工序及装配工序有高精度要求,两两轴承之间的尺寸相互差也是重要影响因素。针对轴承配对成功率低、尺寸相互差不可避免这一问题,通过建立背对背(DB)组配的角接触球轴承模型,利用ANSYS/LS-DYNA软件研究配对轴承理想情况、具有尺寸相互差和不同过盈量时3种工况下轴承的动态接触特性,得到两轴承的应力特性、位移特性、速度特性及加速度特性曲线,之后使用Romax Designer软件对配对轴承进行载荷分布及寿命分析,参数化尺寸相互差对配对轴承动态特性的影响可以为轴承配对提供合理的参考。

原子尺寸差效应对Au的势能曲面及玻璃形成能力的影响

运用分子动力学模拟方法,采用镶嵌原子势,研究了金属Au和AuAu′(Au为正常尺寸的金原子,Au′为半径尺寸变大10%的金原子,两者的原子比例为3:1)在发生玻璃转变过程中的势能曲面,探讨了原子尺寸差效应对势能曲面的影响.我们发现增加原子尺寸差会导致Au的势能曲面发生显著的变化:它使高-低温的内在势能差变大;导致每个温度下内在能量分布变宽,势能曲面变得粗糙;使得体系的海森矩阵特征值分布曲线的峰值变矮,势能曲面上的结构重排方向更少,重排几率更小;导致过冷液态区的流变激活能随温度降低增加更快.以上原子尺寸差效应导致的势能曲面的所有的变化,都有利于提高非晶的形成能力.

汽车差速器半轴齿轮尺寸超差原因分析及工艺改进

针对汽车差速器半轴齿轮尺寸超差问题,结合现代质量管理统计Minitab软件,从测量系统、测量能力、原始过程能力、热处理变形影响和工艺过程等5个方面进行分析,找出超差原因并对工艺系统缺陷进行改善。通过变更超差尺寸对应控制尺寸的基准,解决了尺寸超差问题,为同类型产品提供了一套有效的分析路径和改进措施。

矛盾尺寸链及工序尺寸假超差问题的研究

对机械加工过程中 ,工序尺寸换算时常遇到的矛盾尺寸链问题 ,以及在加工时工序尺寸超差而实际设计尺寸合格的所谓“假超差”等问题进行了分析 ,并提出出现这种问题时的修正方法。

旋风铣床加工内螺孔中径尺寸超差原因分析

我公司制造的某气化炉封头法兰中，出现了20-M64×3-6H螺孔。对于较大直径的内螺纹一般有两种加工方法，一是在摇臂钻床上用丝锥攻螺纹。另一种方法在螺纹旋风铣床上加工。由于该螺孔是盲孔，用第一种方法加工时使用合格的丝锥，虽能保证螺纹的牙形角和中径尺寸，但操作不当容易乱扣和打丝锥而保证不了质量。

汽车车身拖曳臂安装点尺寸超差质量问题的研究

随着人们在汽车驾驶过程中对安全性能要求越来越高,车身底盘系统的装配精度是影响汽车安全性能的重要因素。针对某车型车身硬点尺寸下降的问题进行了分析,阐述了底盘车身拖曳臂安装点Z方向尺寸超差的问题整改过程,重点介绍了问题的现状调查、原因分析及对策制定。

大规格热轧带肋钢筋头部尺寸超差分析

分析了在横列式轧机轧制大规格热轧带肋钢筋时头部葫芦状尺寸超差的产生原因，通过改进轴承座结构，有效地解决了这一问题。

天线支架注塑件尺寸超差分析与修正方法

注塑件尺寸超差,是模具工程师经常要面对的问题。影响尺寸因素很多,找出根本原因并对尺寸进行修正,对工程师能力有较高的要求。从影响尺寸精度的原因及确认相关尺寸及拟定修正方案两个方面进行阐述,总结经验,希望能帮助模具工程师分析和解决尺寸超差问题。

全液压钻车摆臂结构件的尺寸偏差分析研究及改进措施

全液压钻车摆臂结构件焊接完工后,孔的加工余量不均匀,孔加工不出来造成返修,费时费工,使孔壁外观厚薄不均匀,各个孔的中心距达不到图纸设计要求。针对多处尺寸出现偏差的问题分析发现,焊接过程中的焊接变形、各个单件尺寸的控制、组装结构件未使用工装是造成尺寸偏差的主要原因。为此,对上述问题提出改进措施,有效地控制了焊接品质,并使尺寸达到了图纸的设计要求。

数控车伺服进给轴加工尺寸超差故障分析

安阳鑫盛发那科Oi—Mate TD系统CK6163数控车，工作时X轴尺寸总是超差，检查X轴滚珠丝杠备帽松动，适当备紧后，用磁力百分表检查X轴丝杠反向间隙，并在系统内调整X轴反向间隙参数1851的数值后故障排除，加工尺寸精度恢复。

锤头尺寸超差导致减产的分析

我公司三条5 000t/d生产线石灰石破碎系统配置了两台PCF2022单段锤式破碎机,出料粒度65mm以下,合格率80%以上,产量可稳定在780t/h左右。但2号破碎机在2014年5月3日更换锤头后,产量一直加不上去。产量加到约650t/h时。

“隐形”尺寸超差问题的分析与控制

“隐形”尺寸是一种特殊的尺寸,经常在其“初步形成”时被关注,而在其最终形成时被忽视。本文以一个“隐形”尺寸的形成过程为例,详细地分析了“隐形”尺寸被忽视的原因和“隐形”尺寸容易超差的原因,并探讨了“隐形”尺寸的控制方法。

轿车前盖内板尺寸超差问题的解决

首先从尺寸超差对整车制造的影响、回弹产生本质,结合冷冲压模具结构工艺进行分析,在控制模具制造调试成本的情况下,制定相应对策解决问题,结合模具制造调试,从生产实际出发,探索出一种变控制结果为控制模具生产调试过程,稳定零件质量的生产制造方法。通过对模具材质及结构分析,着色耦合实验,检测模具关键区域R角大小,改进和修复R角,解决模具生产问题,建立健全模具质量闭环监控体系,将模具被动维修变为主动控制修复,保证整车装配质量的良性生产模式,指导现场生产,希望对冷冲压模具设计制造及现场调试术人员有所参考和借鉴。

DF_(11G)型机车轴箱体开档尺寸超差分析

通过对DF_(11G)型机车轴箱体的加工工艺分析,总结了DF_(11G)轴箱体机加工过程中存在的154_(-0.515)^(0.415)mm开档尺寸超差质量问题,提出铣削加工工艺、测量误差是导致154_(-0.515)^(0.415)mm开档尺寸超差的主要原因,并提出相应的对策措施。