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CdTe清洁表面的微观平整性研究
1
作者
任洁
傅莉
白雪垠
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2016年第8期183-186,共4页
采用氩离子刻蚀加退火获得了CdTe(111)A清洁表面。分析了角分辨光电子能谱和反射式高能电子衍射花样。结果表明:晶面经清洁处理后出现了局域台阶,而刻蚀力度局部的差别造成宏观不平整。另外,表面没有明显的三维凸起等不平整的原子结构,...
采用氩离子刻蚀加退火获得了CdTe(111)A清洁表面。分析了角分辨光电子能谱和反射式高能电子衍射花样。结果表明:晶面经清洁处理后出现了局域台阶,而刻蚀力度局部的差别造成宏观不平整。另外,表面没有明显的三维凸起等不平整的原子结构,在二维尺度上平整有序。
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关键词
氩离子刻蚀
局域台阶
原子有序性
平整性
下载PDF
职称材料
题名
CdTe清洁表面的微观平整性研究
1
作者
任洁
傅莉
白雪垠
机构
西北工业大学材料学院
出处
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2016年第8期183-186,共4页
文摘
采用氩离子刻蚀加退火获得了CdTe(111)A清洁表面。分析了角分辨光电子能谱和反射式高能电子衍射花样。结果表明:晶面经清洁处理后出现了局域台阶,而刻蚀力度局部的差别造成宏观不平整。另外,表面没有明显的三维凸起等不平整的原子结构,在二维尺度上平整有序。
关键词
氩离子刻蚀
局域台阶
原子有序性
平整性
Keywords
Ar ions sputtering
local step
atom order
planeness
分类号
TG146.192 [金属学及工艺—金属材料]
TB302.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CdTe清洁表面的微观平整性研究
任洁
傅莉
白雪垠
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2016
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