基于SKILL语言的自动天线效应修复器设计

在深亚微米大规模集成电路设计和制造过程中,可靠性已经成为主要的挑战[1]。文章关注一个重要的可靠性问题?天线效应。首先对天线效应进行分析,然后用SKILL语言设计了自动天线效应修复器。提出了版图层次坐标变换算法:把底层单元坐标属性转换到顶层统一的坐标系中,而不破坏其原有的层次化结构。该工具能在版图中自动修复天线效应,实践结果显示,修复率达90%以上。