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PCB用层间绝缘膜和高功能玻纤布
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作者 蔡积庆(译) 《印制电路信息》 2011年第12期26-31,44,共7页
概述了PCB使用的层间绝缘膜和高功能玻璃布。
关键词 层间绝缘膜 高功能玻纤布
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日本Ulvac公司开发层间绝缘膜腐蚀技术
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作者 杨晓婵 《现代材料动态》 2004年第7期13-13,共1页
关键词 日本Ulvac公司 层间绝缘膜 腐蚀技术 氟化氩保护 集成电路 侧壁粗糙
原文传递
先进电子封装中的聚酰亚胺树脂 被引量:11
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作者 刘金刚 何民辉 +1 位作者 范琳 杨士勇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第10期37-41,共5页
综述了聚酰亚胺(PI)材料在集成电路制造和先进电子封装中的应用与发展情况。从聚酰亚胺封装材料的基础理论、发展现状、未来发展趋势等几个方面进行了详细的阐述。重点论述了ZKPI系列聚酰亚胺封装材料在芯片表面钝化、层间介电绝缘层膜... 综述了聚酰亚胺(PI)材料在集成电路制造和先进电子封装中的应用与发展情况。从聚酰亚胺封装材料的基础理论、发展现状、未来发展趋势等几个方面进行了详细的阐述。重点论述了ZKPI系列聚酰亚胺封装材料在芯片表面钝化、层间介电绝缘层膜以及应力缓冲涂层等方面的应用情况。 展开更多
关键词 电子封装 聚酰亚胺树脂 集成电路 发展现状 介电绝缘
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SiO2的TICS低温CVD
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作者 康卫红 《等离子体应用技术快报》 1995年第6期5-5,共1页
关键词 CVD TICS 二氧化硅 原硅酸四乙酯 层间绝缘膜
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