激光干涉仪在机床导轨平行度检测中的应用

为检测机床或测量机等导轨之间的平行度,用激光干涉仪和岩石平尺作为主要测量工具,基于最小二乘法求解直线度的原理,通过线与线之间的平行度计算方法,以激光干涉仪的反射镜光轴为基准,采用基准法评价机床导轨的平行度,分析了激光干涉仪检测平行度的方法、符号判断及影响直线度和平行度的因素。用两种不同测量工具测量线与线之间平行度,比较两种测量工具的优势特点,为激光检测机床导轨的平行度检测提供测量依据。实验结果表明,相比于岩石平尺,激光干涉仪常用于大尺寸导轨直线度和平行度的测试,且具有直观、方便、高精度的测量优势;岩石平尺由于本身的材质原因不便携带,且本身精度对直线度和平行度的测量结果有影响。