问与答

问在集成电路中除常见的半导体集成外,还常听说有厚膜集成和薄膜集成两种电路。请问,什么是膜集成电路,它与半导体集成有何不同,厚膜电路与薄膜电路又有何不同? 答半导体集成集成电路一般是以P型半导体为衬底(基片),再通过掩模并利用平面工艺,包括氧化、光刻、腐蚀、扩散、外延等。