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5.5N以上超纯氨的研制及产业化 被引量:5
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作者 孙福楠 冯庆祥 《低温与特气》 CAS 2002年第3期25-33,共9页
“六五”以来 ,国内 5 N电子级高纯氨制备中长期存在水纯化曲线“马鞍形”现象和瓶装高纯氨中 O2 、N2 、CH4 等杂质反弹等技术难点及包装容器的落后与生产规模过小 ,使国内生产的瓶装高纯氨的质量长期徘徊在 5 N的水平 ,且很不稳定。... “六五”以来 ,国内 5 N电子级高纯氨制备中长期存在水纯化曲线“马鞍形”现象和瓶装高纯氨中 O2 、N2 、CH4 等杂质反弹等技术难点及包装容器的落后与生产规模过小 ,使国内生产的瓶装高纯氨的质量长期徘徊在 5 N的水平 ,且很不稳定。针对上述技术难点进行克服和突破 ,说明了我院 5 .5 N以上超纯氨研制及产业化在技术上的进展。介绍了包装容器及氨中杂质尤其是氨中痕量水分析的有关工作。本工作对我国电子工业的发展将会产生一定的促进作用。 展开更多
关键词 高纯 制备 水分析 包装容器 杂质 工业液氨 纯化
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