亚微米电子束曝光机工件台控制系统

激光工件台是电子束曝光机关键部件之一。它主要功能是完成图形的拼接。本文描述了双频激光干涉仪，计算机控制的数字伺服系统以及真空条件下的ｘ－ｙ工件台，该系统用于亚微米圆形矢量扫描电子束曝光机中。