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工件台转速对非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜的结构与性能影响
被引量:
2
1
作者
周晖
温庆平
+2 位作者
郑军
桑瑞鹏
万志华
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期1-3,19,共4页
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了工件台转速对薄膜的结构和性能的影响。利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机和真空环模系统评...
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了工件台转速对薄膜的结构和性能的影响。利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机和真空环模系统评价薄膜的真空摩擦磨损性能。结果表明:提高工件台转速改善了掺杂金属Ti在薄膜中的分布均匀性,起到了细化晶粒尺寸,使薄膜组织结构致密性加强的效果。工件台转速变化不影响薄膜成分,薄膜的晶相从明显的(002)基面优势取向向准晶态转变;薄膜的硬度、与基底间的附着力都随工件台转速的提高而增大;薄膜在真空环境中的减摩作用与工件台转速无关,摩擦因数平均值为0.02,波动范围为0.01~0.04,薄膜耐磨寿命随工件台转速提高而延长。
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关键词
非平衡磁控溅射
MoS_2-Ti复合薄膜
工件台转速
结构和性能
下载PDF
职称材料
题名
工件台转速对非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜的结构与性能影响
被引量:
2
1
作者
周晖
温庆平
郑军
桑瑞鹏
万志华
机构
兰州物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期1-3,19,共4页
基金
航天支撑技术项目(417010802)
文摘
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了工件台转速对薄膜的结构和性能的影响。利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机和真空环模系统评价薄膜的真空摩擦磨损性能。结果表明:提高工件台转速改善了掺杂金属Ti在薄膜中的分布均匀性,起到了细化晶粒尺寸,使薄膜组织结构致密性加强的效果。工件台转速变化不影响薄膜成分,薄膜的晶相从明显的(002)基面优势取向向准晶态转变;薄膜的硬度、与基底间的附着力都随工件台转速的提高而增大;薄膜在真空环境中的减摩作用与工件台转速无关,摩擦因数平均值为0.02,波动范围为0.01~0.04,薄膜耐磨寿命随工件台转速提高而延长。
关键词
非平衡磁控溅射
MoS_2-Ti复合薄膜
工件台转速
结构和性能
Keywords
unbalanced magnetron sputtering
MoS_2-Ti coating
substrate table rotation rate
structure and performance
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
工件台转速对非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜的结构与性能影响
周晖
温庆平
郑军
桑瑞鹏
万志华
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
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职称材料
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