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工程型高温度梯度单晶炉研制 被引量:1
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作者 佟勃勇 闫胜斌 张以忱 《真空》 CAS 2014年第5期59-63,共5页
介绍了新型工程型高温度梯度单晶炉研制开发的项目背景,主要研发内容及技术指标,创新性和达到的技术水平,产品采标,应用领域及应用情况,产品经济和社会效益情况,对推动产业发展或行业技术进步的意义。
关键词 工程型高温度梯度单晶炉 温度梯度两区加热 计算机程序 PLC控制
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