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工程型高温度梯度单晶炉研制
被引量:
1
1
作者
佟勃勇
闫胜斌
张以忱
《真空》
CAS
2014年第5期59-63,共5页
介绍了新型工程型高温度梯度单晶炉研制开发的项目背景,主要研发内容及技术指标,创新性和达到的技术水平,产品采标,应用领域及应用情况,产品经济和社会效益情况,对推动产业发展或行业技术进步的意义。
关键词
工程型高温度梯度单晶炉
高
温度梯度
两区加热
计算机程序
PLC控制
下载PDF
职称材料
题名
工程型高温度梯度单晶炉研制
被引量:
1
1
作者
佟勃勇
闫胜斌
张以忱
机构
锦州锦开电器集团有限责任公司
东北大学机械工程与自动化学院
出处
《真空》
CAS
2014年第5期59-63,共5页
文摘
介绍了新型工程型高温度梯度单晶炉研制开发的项目背景,主要研发内容及技术指标,创新性和达到的技术水平,产品采标,应用领域及应用情况,产品经济和社会效益情况,对推动产业发展或行业技术进步的意义。
关键词
工程型高温度梯度单晶炉
高
温度梯度
两区加热
计算机程序
PLC控制
Keywords
engineering type high temperature gradient single crystal furnaee, high temperature gradient doublearea heating
computer program
PLC control
分类号
TF01 [冶金工程—冶金物理化学]
TB79 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
工程型高温度梯度单晶炉研制
佟勃勇
闫胜斌
张以忱
《真空》
CAS
2014
1
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