典型集成电路制造建设项目环境影响评价中工艺废气源强计算

总结了污染源源强的主要计算方法与适用条件。以典型集成电路芯片制造建设项目为例,分析识别主要工艺废气污染源和污染物,选取适用的核算方法,并将计算结果与实测数据比较。结果表明,工艺废气污染物的特性不同,核算方法的适用性和准确性不同,环境影响评价中建议对磷酸雾、硝酸雾、AsH3、PH3等选用物料衡算法,对处理过程转化产生的颗粒物和NOx等优先选用实测法,对硫酸雾、HCl、HF、NH3、TVOC、NMHC等选用较为保守的物料衡算法。