工艺流程的自动生成程序MyAPG及其应用

自动工艺流程生成器对于集成电路生产自动化具有重要意义。文章介绍了一种工艺流程生成程序 My APG,对于程序所用到的工艺库和工艺步骤合并的处理进行了详细说明 。