混合集成电路制造工艺文件体系研究

随着国防军事电子装备迅速发展,混合集成电路的需求量也随之快速增加。混合集成电路工艺制造过程复杂,建立完善的工艺文件体系是保证工艺制造流程清晰可控、产品质量稳定的基础。介绍了混合集成电路制造工艺文件体系的发展,指出了制造工艺文件体系是以指导混合集成电路制造过程为基础,深入分析了制造工艺文件体系的构成,包括体系的架构、管理及基本要求,提出了制造工艺文件体系标准化建设的思路,并借鉴PDCA管理思想推进体系的改进与持续完善。