期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
以工艺为主线的MEMS设计工具IMEE
1
作者 郝一龙 张海霞 +2 位作者 郭辉 肖志勇 周荣春 《今日电子》 2003年第6期40-41,共2页
IMEE是一个自主研发的MEMMS CAD 系统,它包括结点化的系统设计功能、快速的力电耦合性能分析功能、参数化版图单元的版图设计功能、工艺编辑设计和三维模拟功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线,贯穿整个设计过程,重点解决MEMS设计... IMEE是一个自主研发的MEMMS CAD 系统,它包括结点化的系统设计功能、快速的力电耦合性能分析功能、参数化版图单元的版图设计功能、工艺编辑设计和三维模拟功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线,贯穿整个设计过程,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题,实现MEMS工艺设计和在线模拟。另外,该系统是跨平台的,适用于UNIX和Windows操作系统,兼容其他MEMS CAD软件,还支持用户自主扩展其他功能模块。 展开更多
关键词 MEMS IMEE CAD 系统设计 版图设计 工艺编辑设计 三维模拟
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部