期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
以工艺为主线的MEMS设计工具IMEE
1
作者
郝一龙
张海霞
+2 位作者
郭辉
肖志勇
周荣春
《今日电子》
2003年第6期40-41,共2页
IMEE是一个自主研发的MEMMS CAD 系统,它包括结点化的系统设计功能、快速的力电耦合性能分析功能、参数化版图单元的版图设计功能、工艺编辑设计和三维模拟功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线,贯穿整个设计过程,重点解决MEMS设计...
IMEE是一个自主研发的MEMMS CAD 系统,它包括结点化的系统设计功能、快速的力电耦合性能分析功能、参数化版图单元的版图设计功能、工艺编辑设计和三维模拟功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线,贯穿整个设计过程,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题,实现MEMS工艺设计和在线模拟。另外,该系统是跨平台的,适用于UNIX和Windows操作系统,兼容其他MEMS CAD软件,还支持用户自主扩展其他功能模块。
展开更多
关键词
MEMS
IMEE
CAD
系统
设计
版图
设计
工艺编辑设计
三维模拟
下载PDF
职称材料
题名
以工艺为主线的MEMS设计工具IMEE
1
作者
郝一龙
张海霞
郭辉
肖志勇
周荣春
机构
北京大学微电子研究院
出处
《今日电子》
2003年第6期40-41,共2页
文摘
IMEE是一个自主研发的MEMMS CAD 系统,它包括结点化的系统设计功能、快速的力电耦合性能分析功能、参数化版图单元的版图设计功能、工艺编辑设计和三维模拟功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线,贯穿整个设计过程,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题,实现MEMS工艺设计和在线模拟。另外,该系统是跨平台的,适用于UNIX和Windows操作系统,兼容其他MEMS CAD软件,还支持用户自主扩展其他功能模块。
关键词
MEMS
IMEE
CAD
系统
设计
版图
设计
工艺编辑设计
三维模拟
分类号
TP391.72 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TH-39 [机械工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
以工艺为主线的MEMS设计工具IMEE
郝一龙
张海霞
郭辉
肖志勇
周荣春
《今日电子》
2003
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部