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差分式微电容加速度计的数学模型及应用
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作者 张俊杰 宁敏东 《洛阳师范学院学报》 2006年第5期53-54,共2页
介绍了一种基于MEMS和表面微加工工艺的差分式微电容加速度计,并通过分析,构建了该加速度计的数学模型,并简要介绍了该加速度计的一些简单应用.
关键词 差分式电容器 微传感器 微加速度计 MEMS
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