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一种差分杠杆结构的硅微谐振加速度计设计与实现
1
作者
陈美华
《现代信息科技》
2023年第14期167-171,176,共6页
硅微谐振加速度计是一种测量载体运动加速度的微机电惯性仪表,是地震勘探应用领域的重要工具之一。现有加速度计标度因数普遍偏低,直接影响所在地震检波器系统的分辨率。文中设计一种差分杠杆结构的硅微谐振加速度计,利用微杠杆结构放...
硅微谐振加速度计是一种测量载体运动加速度的微机电惯性仪表,是地震勘探应用领域的重要工具之一。现有加速度计标度因数普遍偏低,直接影响所在地震检波器系统的分辨率。文中设计一种差分杠杆结构的硅微谐振加速度计,利用微杠杆结构放大质量块的惯性力,以提高标度因数指标,为地震勘探领域硅微谐振加速计设计提供参考。
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关键词
微机电系统
谐振加速度计
差分杠杆结构
标度因数
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职称材料
题名
一种差分杠杆结构的硅微谐振加速度计设计与实现
1
作者
陈美华
机构
清华四川能源互联网研究院
出处
《现代信息科技》
2023年第14期167-171,176,共6页
文摘
硅微谐振加速度计是一种测量载体运动加速度的微机电惯性仪表,是地震勘探应用领域的重要工具之一。现有加速度计标度因数普遍偏低,直接影响所在地震检波器系统的分辨率。文中设计一种差分杠杆结构的硅微谐振加速度计,利用微杠杆结构放大质量块的惯性力,以提高标度因数指标,为地震勘探领域硅微谐振加速计设计提供参考。
关键词
微机电系统
谐振加速度计
差分杠杆结构
标度因数
Keywords
micro electromechanical system
resonant accelerometer
differential leverage structure
scale factor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
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1
一种差分杠杆结构的硅微谐振加速度计设计与实现
陈美华
《现代信息科技》
2023
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