一种差分杠杆结构的硅微谐振加速度计设计与实现

硅微谐振加速度计是一种测量载体运动加速度的微机电惯性仪表,是地震勘探应用领域的重要工具之一。现有加速度计标度因数普遍偏低,直接影响所在地震检波器系统的分辨率。文中设计一种差分杠杆结构的硅微谐振加速度计,利用微杠杆结构放大质量块的惯性力,以提高标度因数指标,为地震勘探领域硅微谐振加速计设计提供参考。