一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计

介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备。设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构 ,分别用于检测三个垂直方向的加速度。同时 ,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析。用有限元分析工具 ANSYS对器件进行了模拟 ,模拟结果显示出器件设计的合理性。最后 。

差分电容式微机械陀螺的自激驱动电路研究

本文从差分电容式硅微机械陀螺的器件结构角度分析了陀螺驱动信号和检测信号的关系,得出了陀螺的理想驱动信号必须满足的条件,由此提出了差分电容式微机械陀螺的自激驱动方式并设计了总体电路结构,最后总结了陀螺自激驱动电路的优点以及设计难点.

力平衡框架结构加速度计的设计

本文提出了一种基于ICP刻蚀以及静电键合工艺的新型微机械加速度计结构,并通过MATLAB软件对该加速度计系统进行了仿真.这种框架结构可以有效地增大结构静态电容,以便在闭环工作时能产生更大的静电力.它的整体尺寸为2800μm×3000μm×60μm,结构惯性质量为0.14mgn,静态电容为3.618pF,抗过载能力超过5000gn.通过系统仿真,该加速度计的电压灵敏度为90mv/gn,量程为±50gn,系统带宽是10kHz.