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高精度位置检测及定位技术研究
被引量:
4
1
作者
张迎新
刘京南
陈从颜
《东南大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期495-497,共3页
介绍了利用差动摩尔技术进行高精密位置检测的理论基础及其自动定位系统的实现 .差动摩尔信号将反映位移变化的光强值有效地放大 1倍 ,极大地提高了位置检测信号的灵敏度 .工控机根据检测到的差动摩尔信号不断地发出控制脉冲 ,采用步进...
介绍了利用差动摩尔技术进行高精密位置检测的理论基础及其自动定位系统的实现 .差动摩尔信号将反映位移变化的光强值有效地放大 1倍 ,极大地提高了位置检测信号的灵敏度 .工控机根据检测到的差动摩尔信号不断地发出控制脉冲 ,采用步进电机驱动工作台到达± 0 5 μm的定位精度 ,并使位置偏差始终控制在此精度范围内 .给出了系统构造和整个定位过程的实验曲线 。
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关键词
光栅
差动摩尔
精密定位
高精密位置检测
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职称材料
题名
高精度位置检测及定位技术研究
被引量:
4
1
作者
张迎新
刘京南
陈从颜
机构
东南大学自动控制系
出处
《东南大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期495-497,共3页
文摘
介绍了利用差动摩尔技术进行高精密位置检测的理论基础及其自动定位系统的实现 .差动摩尔信号将反映位移变化的光强值有效地放大 1倍 ,极大地提高了位置检测信号的灵敏度 .工控机根据检测到的差动摩尔信号不断地发出控制脉冲 ,采用步进电机驱动工作台到达± 0 5 μm的定位精度 ,并使位置偏差始终控制在此精度范围内 .给出了系统构造和整个定位过程的实验曲线 。
关键词
光栅
差动摩尔
精密定位
高精密位置检测
Keywords
Alignment
Diffraction gratings
Lasers
Signal processing
分类号
TP23 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高精度位置检测及定位技术研究
张迎新
刘京南
陈从颜
《东南大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
4
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职称材料
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