差压式气动传感器稳定性研究

深入研究差压式气动传感器的原理和特性，设计一套实验装置。通过实验分析确定出影响差压式气动传感器稳定性的主要因素，如气源压力波动、空气质量不稳定性、电气误差和非线性误差等；并采取适宜的措施，减少不稳定因素的影响量。研制出一种新型差压式气动传感器；利用误差修正技术对其系统误差予以修正，不仅提高了传感器的灵敏度，拓宽了测量范围，而且有效提高了气动传感器测量准确度。

高分辨力智能型气动测微仪

根据差压式气动测量原理,设计了一种微纳米级气动传感器,并通过硬件电路设计、软件系统开发研制了智能型非接触式气动测微仪。通过软件调零及误差补偿技术,达到了气动传感器非接触线性测量的目的。结果表明:气动传感器分辨力0.2μm,线性度2%,回程误差0.7%,灵敏度0.65 kPa/μm;仪器在0～80μm的测量范围内最大示值误差为0.3 m,回程误差为0.25μm.该智能型测微仪在一定程度上能应用在高精度微纳米检测场合中。