用外差莫尔条纹法对直线性的检测

引言光波干涉法、莫尔条纹法之类的光学检测方法,作为机械量相关长度尺寸进行非接触式的检测方案已被广泛采用。可是,一向以目测或光电检测光强的手段受到光学系统鉴别率的限制。例如,以干涉条纹或莫尔条纹检测时,条纹间隔提供的灵敏度是精确读取间隔值尾数的关键,由于条纹亮度、形状很不一致。