X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究

用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上形成布拉格－菲涅耳元件所需的波带片图形，通过离子束刻蚀方法将波带片图形转写到多层膜上，完成元件的制作，给出布拉格－菲涅耳光学元件测量结果。测量结果表明上述方法适于制作布拉格－菲涅耳元件。