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90nm工艺下nMOS器件最大衬底电流应力特性
1
作者
陈海峰
马晓华
+4 位作者
郝跃
曹艳荣
黄建方
王文博
李康
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期2411-2415,共5页
研究了90nm工艺条件下的轻掺杂漏(lightlydoped drain,LDD)nMOSFET器件最大衬底电流应力特性.在比较分析了连续不同电应力后LDDnMOSFET的GIDL(gateinduced drain leakage)电流变化后,发现当器件的栅氧厚度接近1nm,沟长接近100nm时,最大...
研究了90nm工艺条件下的轻掺杂漏(lightlydoped drain,LDD)nMOSFET器件最大衬底电流应力特性.在比较分析了连续不同电应力后LDDnMOSFET的GIDL(gateinduced drain leakage)电流变化后,发现当器件的栅氧厚度接近1nm,沟长接近100nm时,最大衬底电流应力不是电子注入应力,也不是电子和空穴的共同注入应力,而是一种空穴注入应力,并采用空穴应力注入实验、负最大衬底电流应力实验验证了这一结论.
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关键词
最大衬底电流应力
关态
带带遂穿
陷阱电荷
GIDL
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职称材料
题名
90nm工艺下nMOS器件最大衬底电流应力特性
1
作者
陈海峰
马晓华
郝跃
曹艳荣
黄建方
王文博
李康
机构
西安电子科技大学微电子研究所
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期2411-2415,共5页
基金
国家自然科学基金(批准号:60376024)
国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA1Z1630)资助项目~~
文摘
研究了90nm工艺条件下的轻掺杂漏(lightlydoped drain,LDD)nMOSFET器件最大衬底电流应力特性.在比较分析了连续不同电应力后LDDnMOSFET的GIDL(gateinduced drain leakage)电流变化后,发现当器件的栅氧厚度接近1nm,沟长接近100nm时,最大衬底电流应力不是电子注入应力,也不是电子和空穴的共同注入应力,而是一种空穴注入应力,并采用空穴应力注入实验、负最大衬底电流应力实验验证了这一结论.
关键词
最大衬底电流应力
关态
带带遂穿
陷阱电荷
GIDL
Keywords
Isub,max stress
off-state
hand-hand tunneling
trapping charge
GIDL
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
90nm工艺下nMOS器件最大衬底电流应力特性
陈海峰
马晓华
郝跃
曹艳荣
黄建方
王文博
李康
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
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