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题名带框LTCC生瓷烘干技术
被引量:2
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作者
周峻霖
夏俊生
侯育增
洪明
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机构
华东光电集成器件研究所
中国人民解放军驻九三七三厂军事代表室
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出处
《电子与封装》
2011年第4期6-11,共6页
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文摘
在LTCC基板加工中,生瓷预烘干、图形印刷后烘干可能会产生中心位置塌陷、破损、翘曲等形变问题。而LTCC是通过加工多层生瓷、按一定顺序准确对准,再层压、切割后共烧而成,为满足产品平整度及位置对准精度要求,我们必须解决各层烘干过程中存在的形变问题,保证每一层生瓷加工质量。文章介绍了LTCC基板制造过程中带框生瓷烘干的工艺方法,并通过工艺试验对当前所用两种烘干设备的工艺参数进行比较,有效改进了烘干后生瓷表面的质量。同时,我们结合不同产品进行试验,对烘箱和带框架烘干组件完成烘干原理及特点进行了分析,阐述了两种烘干工艺加工特点和工艺优化过程。
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关键词
带框ltcc生瓷
烘干
ltcc(低温共烧陶瓷)
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Keywords
frame-mounted ltcc green tape
curing
ltcc(low temperature co-fired ceramic)
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分类号
TN305.94
[电子电信—物理电子学]
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题名带框LTCC生瓷烘干技术研究
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作者
周峻霖
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机构
中国兵器工业第
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出处
《集成电路通讯》
2007年第4期35-39,共5页
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文摘
在LTCC基板加工中,生瓷预烘干、图形印刷后烘干可能会产生形变。为满足产品平整度及加工位置精度要求,本文介绍了LTCC基板制造过程中烘干的工艺方法,并通过工艺试验对当前所用两种烘干设备的各工艺参数进行比较,有效改进了烘干后生瓷表面质量。同时,我们结合不同产品要求和生产规格,对PH-101型烘箱和MSH公司烘干机加工特点进行了分析,阐述了两种烘干方法加工特点和工艺优化过程。
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关键词
带框ltcc生瓷
烘干工艺
ltcc基板
制造
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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