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带通∑Δ调制器在MEMS陀螺驱动环路的应用
被引量:
1
1
作者
徐磊
杨拥军
+1 位作者
任臣
杨亮
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期899-903,共5页
研究了MEMS陀螺驱动环路的数字∑Δ闭环控制。基于MEMS陀螺机械结构的二阶谐振特性,采用自激振荡的方式实现驱动闭环,通过数字延迟链实现相位控制,通过PI控制器保证驱动模态恒幅振动。设计4阶机电结合带通∑Δ调制器代替数模转换器(DAC...
研究了MEMS陀螺驱动环路的数字∑Δ闭环控制。基于MEMS陀螺机械结构的二阶谐振特性,采用自激振荡的方式实现驱动闭环,通过数字延迟链实现相位控制,通过PI控制器保证驱动模态恒幅振动。设计4阶机电结合带通∑Δ调制器代替数模转换器(DAC)实现静电力反馈,来抑制闭环控制系统的带内噪声,同时降低驱动级模拟电路的复杂度。通过FPGA进行实验验证,测试结果表明应用该驱动环路,其驱动模态振动幅值稳定性为3.67×10^(-4),MEMS陀螺输出零偏不稳定性为1.219°/h。
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关键词
驱动环路
MEMS陀螺
带通∑δ调制器
自激驱动
FPGA
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职称材料
题名
带通∑Δ调制器在MEMS陀螺驱动环路的应用
被引量:
1
1
作者
徐磊
杨拥军
任臣
杨亮
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期899-903,共5页
文摘
研究了MEMS陀螺驱动环路的数字∑Δ闭环控制。基于MEMS陀螺机械结构的二阶谐振特性,采用自激振荡的方式实现驱动闭环,通过数字延迟链实现相位控制,通过PI控制器保证驱动模态恒幅振动。设计4阶机电结合带通∑Δ调制器代替数模转换器(DAC)实现静电力反馈,来抑制闭环控制系统的带内噪声,同时降低驱动级模拟电路的复杂度。通过FPGA进行实验验证,测试结果表明应用该驱动环路,其驱动模态振动幅值稳定性为3.67×10^(-4),MEMS陀螺输出零偏不稳定性为1.219°/h。
关键词
驱动环路
MEMS陀螺
带通∑δ调制器
自激驱动
FPGA
Keywords
driving loop
MEMS gyroscope
band-pass ∑Δ modulator
self-oscillation driving
FPGA
分类号
TN453 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
带通∑Δ调制器在MEMS陀螺驱动环路的应用
徐磊
杨拥军
任臣
杨亮
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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