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GaAs/Si/AlAs异质结的带阶和GaAs生长温度的影响
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作者 李永平 澜清 +6 位作者 吴正龙 周大勇 孔云川 牛智川 田强 杨锡震 王亚非 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期168-172,共5页
用分子束外延 (MBE)设备制备了 Ga As/ Al As和 Ga As/ Si/ Al As异质结 ,通过 XPS分别研究了异质结界面处 Si层厚度为 0 .5 ML 和 1ML 对异质结带阶的调节 ,得到最大调节量为 0 .2 e V;通过 C- V法研究了异质结的Ga As层在不同温度下... 用分子束外延 (MBE)设备制备了 Ga As/ Al As和 Ga As/ Si/ Al As异质结 ,通过 XPS分别研究了异质结界面处 Si层厚度为 0 .5 ML 和 1ML 对异质结带阶的调节 ,得到最大调节量为 0 .2 e V;通过 C- V法研究了异质结的Ga As层在不同温度下生长对 0 .5 ML Si夹层的影响 ,得到 Si夹层的空间分布随 Ga As层生长温度的升高而扩散增强的温度效应 ,通过深能级瞬态谱 (DL TS)研究了在上述不同温度下生长的 Ga As层的晶体质量 . 展开更多
关键词 GaAs/Si/AlAs异质结 生长温度 Si夹层 XPS测量 DLTS测量 带阶调节 分子束外延
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