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常压化学汽相沉积TiO_x纳米光学薄膜及其用于太阳电池减反射膜的研究
被引量:
5
1
作者
杨宏
王鹤
+3 位作者
于化丛
奚建平
胡宏勋
陈光德
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期437-440,共4页
报道了用常压化学汽相沉积 (APCVD)工艺制备TiOx 纳米光学薄膜的研究结果 ,讨论了衬底温度对薄膜结构及折射率的影响 ,实验验证了太阳电池对光学减反射膜的理论要求 ,优化了工艺条件 ,制备的TiOx 纳米光学薄膜性能稳定 ,大面积颜色均匀...
报道了用常压化学汽相沉积 (APCVD)工艺制备TiOx 纳米光学薄膜的研究结果 ,讨论了衬底温度对薄膜结构及折射率的影响 ,实验验证了太阳电池对光学减反射膜的理论要求 ,优化了工艺条件 ,制备的TiOx 纳米光学薄膜性能稳定 ,大面积颜色均匀一致。采用该工艺制备的TiOx 减反射膜能使单晶硅太阳电池光电转换效率平均增加 10 %。
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关键词
常压化学汽相沉积
光学薄膜
减反射膜
钛氧化合物
太阳能电池
下载PDF
职称材料
纳米TiOx光学薄膜的制备及性能分析
2
作者
王鹤
杨宏
《应用光学》
CAS
CSCD
2001年第5期43-45,共3页
报道用常压化学汽相沉积 (APCVD)工艺制备 Ti Ox纳米光学薄膜的研究结果 ,分析衬底温度对薄膜结构及折射率的影响 ,讨论在抛光硅片及绒面硅片上制备的 Ti Ox薄膜光学减反射特性 。
关键词
纳米
TiOx
常压化学汽相沉积
制备
性能分析
光学薄膜
减反射特性
APCVD
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职称材料
本市十八项工业重大骨干项目简解(四)
3
作者
贺师惠
《上海工业》
1994年第2期13-14,共2页
为了加快上海工业经济的发展和浦东的开发开放,促使上海早日成为“一个龙头、三个中心”的现代化国际大都市,根据市府领导关于工业项目要搞竞争性、规模性、外向性的要求,市经委决定在1994年集中资金和力量,抓一批投资在2亿元以上(合资...
为了加快上海工业经济的发展和浦东的开发开放,促使上海早日成为“一个龙头、三个中心”的现代化国际大都市,根据市府领导关于工业项目要搞竞争性、规模性、外向性的要求,市经委决定在1994年集中资金和力量,抓一批投资在2亿元以上(合资项目在3000万美元以上)或年产值在10亿元以上的,且技术水平高、市场前景好、经济效益佳、能起支撑性作用、并在当年建成投产的重大骨干项目,作为上海工业结构调整的重大举措。为了让全市工业系统广大干部、职工大家都能来共同关心和支持这18项重大骨干项目的建设,切实抓好这批重大骨干项目的顺利实施和如期投产,尽快发挥投资效益,应读者要求,本刊在上几期已作初步介绍的基础上,将继续介绍这些重大骨干项目的技术水平、建设规模,经济效益和市场前景等情况,以供大家借鉴参考。
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关键词
空调
压
缩机
房间空调器
建成投产
常压化学汽相沉积
上海贝尔公司
分体式空调器
可行性研究报告
家用空调器
经济效益
生产技术
下载PDF
职称材料
In_xGa_(1-x)N薄膜的弯曲因子及斯托克斯移动研究
被引量:
4
4
作者
李述体
江风益
+3 位作者
范广涵
王立
莫春兰
方文卿
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期751-755,共5页
采用常压金属有机化学汽相沉积 (MOCVD)技术以Al2 O3 为衬底在GaN膜上生长了InxGa1-xN薄膜。以卢瑟福背散射 /沟道技术、光透射谱、光致发光光谱对InxGa1-xN/GaN/Al2 O3 样品进行了测试。研究了InxGa1-xN薄膜的弯曲因子及斯托克斯移动...
采用常压金属有机化学汽相沉积 (MOCVD)技术以Al2 O3 为衬底在GaN膜上生长了InxGa1-xN薄膜。以卢瑟福背散射 /沟道技术、光透射谱、光致发光光谱对InxGa1-xN/GaN/Al2 O3 样品进行了测试。研究了InxGa1-xN薄膜的弯曲因子及斯托克斯移动。结果表明 ,采用光透射谱、光致发光光谱得到的InxGa1-xN薄膜的禁带宽度一致 ,InxGa1-xN薄膜并不存在斯托克斯移动。InxGa1-xN薄膜的In组分分别为 0 .0 4 ,0 .0 6 ,0 .2 4 ,0 .2 6时 ,其弯曲因子分别为 3.4 0 ,2 .36 ,1.82 ,3.70。随In组分变化 ,InxGa1-xN薄膜的弯曲因子的变化并没有一定的规律 ,表明InxGa1-xN薄膜的禁带宽度随In组分的变化关系复杂。
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关键词
光学材料
斯托克斯移动
弯曲因子
常
压
金属有机
化学
汽
相
沉积
法
光致发光
卢瑟福背散射/沟道技术
禁带宽度
氮铟镓薄膜
原文传递
题名
常压化学汽相沉积TiO_x纳米光学薄膜及其用于太阳电池减反射膜的研究
被引量:
5
1
作者
杨宏
王鹤
于化丛
奚建平
胡宏勋
陈光德
机构
西安交通大学太阳能研究所
上海交通大学太阳能研究所
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期437-440,共4页
文摘
报道了用常压化学汽相沉积 (APCVD)工艺制备TiOx 纳米光学薄膜的研究结果 ,讨论了衬底温度对薄膜结构及折射率的影响 ,实验验证了太阳电池对光学减反射膜的理论要求 ,优化了工艺条件 ,制备的TiOx 纳米光学薄膜性能稳定 ,大面积颜色均匀一致。采用该工艺制备的TiOx 减反射膜能使单晶硅太阳电池光电转换效率平均增加 10 %。
关键词
常压化学汽相沉积
光学薄膜
减反射膜
钛氧化合物
太阳能电池
Keywords
Antireflection coatings
Chemical vapor deposition
Nanostructured materials
Optical films
Refractive index
Titanium oxides
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
纳米TiOx光学薄膜的制备及性能分析
2
作者
王鹤
杨宏
机构
西安交通大学理学院
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2001年第5期43-45,共3页
文摘
报道用常压化学汽相沉积 (APCVD)工艺制备 Ti Ox纳米光学薄膜的研究结果 ,分析衬底温度对薄膜结构及折射率的影响 ,讨论在抛光硅片及绒面硅片上制备的 Ti Ox薄膜光学减反射特性 。
关键词
纳米
TiOx
常压化学汽相沉积
制备
性能分析
光学薄膜
减反射特性
APCVD
Keywords
nanometer
TiOx thin film
atmospheric pressure chemical vapor deposition
分类号
O484 [理学—固体物理]
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
本市十八项工业重大骨干项目简解(四)
3
作者
贺师惠
出处
《上海工业》
1994年第2期13-14,共2页
文摘
为了加快上海工业经济的发展和浦东的开发开放,促使上海早日成为“一个龙头、三个中心”的现代化国际大都市,根据市府领导关于工业项目要搞竞争性、规模性、外向性的要求,市经委决定在1994年集中资金和力量,抓一批投资在2亿元以上(合资项目在3000万美元以上)或年产值在10亿元以上的,且技术水平高、市场前景好、经济效益佳、能起支撑性作用、并在当年建成投产的重大骨干项目,作为上海工业结构调整的重大举措。为了让全市工业系统广大干部、职工大家都能来共同关心和支持这18项重大骨干项目的建设,切实抓好这批重大骨干项目的顺利实施和如期投产,尽快发挥投资效益,应读者要求,本刊在上几期已作初步介绍的基础上,将继续介绍这些重大骨干项目的技术水平、建设规模,经济效益和市场前景等情况,以供大家借鉴参考。
关键词
空调
压
缩机
房间空调器
建成投产
常压化学汽相沉积
上海贝尔公司
分体式空调器
可行性研究报告
家用空调器
经济效益
生产技术
分类号
F427.51 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
In_xGa_(1-x)N薄膜的弯曲因子及斯托克斯移动研究
被引量:
4
4
作者
李述体
江风益
范广涵
王立
莫春兰
方文卿
机构
华南师范大学光电子材料与技术研究所
南昌大学材料科学研究所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期751-755,共5页
基金
国家科技攻关计划 (D0 0 6 8)
华南师范大学博士启动资金 (6 6 0 119)资助课题
文摘
采用常压金属有机化学汽相沉积 (MOCVD)技术以Al2 O3 为衬底在GaN膜上生长了InxGa1-xN薄膜。以卢瑟福背散射 /沟道技术、光透射谱、光致发光光谱对InxGa1-xN/GaN/Al2 O3 样品进行了测试。研究了InxGa1-xN薄膜的弯曲因子及斯托克斯移动。结果表明 ,采用光透射谱、光致发光光谱得到的InxGa1-xN薄膜的禁带宽度一致 ,InxGa1-xN薄膜并不存在斯托克斯移动。InxGa1-xN薄膜的In组分分别为 0 .0 4 ,0 .0 6 ,0 .2 4 ,0 .2 6时 ,其弯曲因子分别为 3.4 0 ,2 .36 ,1.82 ,3.70。随In组分变化 ,InxGa1-xN薄膜的弯曲因子的变化并没有一定的规律 ,表明InxGa1-xN薄膜的禁带宽度随In组分的变化关系复杂。
关键词
光学材料
斯托克斯移动
弯曲因子
常
压
金属有机
化学
汽
相
沉积
法
光致发光
卢瑟福背散射/沟道技术
禁带宽度
氮铟镓薄膜
Keywords
optical material
InGaN
Rutherford backscattering and ion channeling
photoluminescence
分类号
TN304.26 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
常压化学汽相沉积TiO_x纳米光学薄膜及其用于太阳电池减反射膜的研究
杨宏
王鹤
于化丛
奚建平
胡宏勋
陈光德
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
5
下载PDF
职称材料
2
纳米TiOx光学薄膜的制备及性能分析
王鹤
杨宏
《应用光学》
CAS
CSCD
2001
0
下载PDF
职称材料
3
本市十八项工业重大骨干项目简解(四)
贺师惠
《上海工业》
1994
0
下载PDF
职称材料
4
In_xGa_(1-x)N薄膜的弯曲因子及斯托克斯移动研究
李述体
江风益
范广涵
王立
莫春兰
方文卿
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
4
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