常压射频低温冷等离子体清洗光刻胶研究

介绍了一种新型的常压射频低温冷等离子体放电设备,用该设备进行了清洗光刻胶的工艺实验研究。实验结果表明:在100mm硅片表面涂上9912光刻胶,用等离子体进行清洗的速率可达500nm/min,测量了清洗速率与放电功率、氧气流量和衬底温度之间的变化关系;并对离子注入(B+, 5×1015cm-2)后的光刻胶进行了清洗实验,得到清洗速率为300nm/min。清洗后的电镜分析证明,经等离子体清洗后,硅片表面无损伤、无残胶。

常压射频冷等离子体刻蚀硅的研究

介绍一种新型的常压射频低温冷等离子放电设备,并用该设备进行硅刻蚀的工艺实验.研究了刻蚀硅的速率随等离子体放电功率、气体流量以及衬底温度的变化规律,并得到了最大刻蚀速率为390nm/min.利用台阶仪、显微镜和扫描电镜(SEM)对刻蚀效果进行检测与分析,证实了该设备对硅的浅刻蚀具有较好的均匀性和较高的各向异性.结果表明,该设备在常压下刻蚀硅,操作简单且不易对材料表面产生损伤.

射频驱动常压射流等离子体的发展应用

作为一种节能环保的材料处理加工手段,射频驱动常压射流等离子体,工程应用前景较好,受到国外学者的深入关注.而我国关于该技术的研究应用总结报道则相对缺乏.针对这一现状,本文根据射频驱动常压射流等离子体的发展历程和已有研究,分别从典型设备构造、改性应用及其作用原理、关键工艺条件等几个方面,总结分析该技术的发展趋势和最新应用现状.

常压下低温等离子体光辐射特性测量

采用常压空气辉光放电(APGD)技术在自行设计的电极板表面产生出一薄层低温等离子体,并利用光谱诊断光学系统对所产生的等离子体进行光辐射特性实验测量;实验获取了几种电极板在几个不同加载功率下的辐射光谱,并对光谱的辐射强度进行平均化处理分析。分析结果表明此沿面APGD的光辐射强度与加载功率之间存在线性增加的关系,且随电极板静态电容的增加而增强。该方法可以为控制APGD等离子体的产生量提供一种简便可行的途径。

常压放电低温等离子体辐射特性测量实验

本文在自行设计的放电电极板上实现常压下的空气辉光放电(APGD),产生出一薄层的低温等离子体,利用光栅单色仪及测试声强和温度的仪器对所产生的等离子体的光辐射、声辐射和热辐射特性进行实验测量。数据处理后的分析结果表明,该APGD等离子体的光辐射强度及声辐射和热辐射强度,以及总辐射能量基本上都与电极板的加载功率呈线性关系,而且各种形式的能量各占比例是一定的。研究结果表明可以通过沿面APGD的辐射特性与加载功率之间的关系来描述APGD等离子体的特性,以及控制等离子体的产生量。

常压射频等离子体沉积TiO2纳米颗粒膜的空间均匀性

常压等离子体增强化学气相沉积(AP-PECVD)薄膜的均匀性是AP-PECVD技术成功应用的关键问题之一。为此,通过基片的微位移实现了TiO_2纳米颗粒薄膜的连续沉积,同时研究了基片的不同移动方式对沉积薄膜的均匀性、表面形貌、结晶结构的影响。研究结果表明:相比单向移动沉积的薄膜,来回移动沉积的薄膜均匀性会得到提高,沉积速率降低;单向移动沉积的薄膜为锐钛矿晶型,而来回移动沉积的薄膜为锐钛矿和金红石混晶结构,且随功率密度的提高,混晶结构中金红石含量提高。由紫外可见吸收光谱分析可知,相比锐钛矿单晶结构,混晶结构的TiO_2薄膜在紫外光区的吸收光谱宽度发生了明显的增宽和红移现象,且金红石含量越高,此现象越明显。根据Kubelka-Munk公式求取TiO_2薄膜的光学带隙可知,锐钛矿和金红石混晶结构会引起能带的错列分布,从而导致光学带隙降低。

半导体激光疗法结合耳穴压豆对行低温等离子射频消融术腰椎间盘突出症患者的术后疼痛及肢体活动的影响

目的 探讨半导体激光疗法结合耳穴压豆对行低温等离子射频消融术的腰椎间盘突出症患者术后疼痛及肢体活动的影响。方法 纳入2021年1月至2022年1月中国中医科学院眼科医院骨科病房收治的100例行低温等离子射频消融术的腰椎间盘突出症患者,按照随机数字表法将其分为对照组和研究组,每组50例。对照组予以术后常规护理并配合使用半导体激光照射治疗,研究组在对照组基础上加用耳穴压豆疗法。比较两组术后视觉模拟评分法(VAS)评分、日本骨科学会(JOA)评分、Oswestry功能障碍指数(ODI)评分和患者术后住院时间及临床效果。结果 整体分析发现,两组VAS、JOA、ODI评分的时间、组间、交互作用比较差异有统计学意义(P<0.05);组内比较,两组VAS、JOA、ODI评分术后各时间点比较,差异有统计学意义(P<0.05)。组间比较,研究组术后1、3、5 d VAS、ODI评分低于对照组,JOA评分高于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。研究组术后住院时间短于对照组,差异有统计学意义(P<0.05);研究组的临床效果优于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。结论 对腰椎低温等离子射频消融术后患者予以半导体激光疗法联合耳穴压豆的实施有利于早期缓解患者疼痛感,恢复肢体活动度,促进患者术后恢复,缩短住院时间。

低温射频等离子体降解乙腈中黄曲霉毒素B_1的效果与途径分析

采用低温射频等离子体处理溶解于乙腈中的黄曲霉毒素B1，考察了时间、等离子体发射功率、黄曲霉毒素B1初始浓度对黄曲霉毒素B1降解率的影响，通过HPLC—MS／MS分析降解产物及其可能的降解途径。结果表明，随着等离子体功率的增大、黄曲霉毒素B1初始浓度的降低，其降解率有增大的趋势。200～500μg／L黄曲霉毒素B1经120W等离子体处理150s以上，黄曲霉毒素B1的降解率可达95％以上。经过对比等离子体处理不同时间后的黄曲霉毒素B1的一级质谱，推测准分子离子峰157、299、339为可能的降解产物峰。结合产物峰的二级质谱碎片信息和黄曲霉毒素B1分子结构中的活性位点，推断出降解产物的结构和降解路径。

花生中的物质成分对低温射频等离子体降解黄曲霉毒素B_1的影响

研究采用低温射频等离子体技术处理黄曲霉毒素B_1(aflatoxin B_1,AFB_1),通过高效液相色谱分析其中AFB_1的降解率,探究花生中的蛋白质、脂肪酸、维生素和水分对低温射频等离子体去除AFB_1的影响。结果表明,添加花生蛋白和玉米蛋白后,在不同的等离子体处理功率条件下,AFB_1的降解率明显下降。在相同处理条件下,添加花生蛋白比添加玉米蛋白后的降解率低;添加油酸和亚油酸后,在不同的等离子体处理功率条件下,AFB_1的降解率明显下降。在相同处理条件下,油酸和亚油酸的AFB_1降解率基本相同;添加VE后,AFB_1的降解率先高于空白组,后低于空白组。在相同处理条件下VE的含量越多,AFB_1的降解率越低。说明低温射频等离子体技术降解AFB_1时,花生中的成分对降解有影响。

PBO纤维常压低温等离子体处理可行性分析

PBO纤维是具有比强度、比模量、耐热性和阻燃性等超级性能的新型高科技纤维,可用作先进复合材料的增强材料,但因其与树脂之间的界面粘接性能差需要对其表面改性。低温等离子体是一种表面改性新技术,它是通过在纤维表面产生刻蚀、交联或引入官能团等而改善纤维表面的粘接等性能。本文简述了PBO纤维的结构、性能、在复合材料中的用途和对PBO纤维的表面改性方法。在实验基础上,笔者对PBO纤维运用自行研制的常压低温等离子体设备在线连续化表面改性做了可行性分析。

低温射频等离子体消融治疗下鼻甲肥大

本文报道鼻内镜下行低温射频等离子体消融治疗 80例下鼻甲肥大。治疗时间 15～ 2 0min。随访 3个月 ,79例治愈 ,1例好转 (合并鼻中隔偏曲 ) ,治愈率 98.8%。作者认为该方法简单 ,视野清楚 ,创伤小 ,出血少 ,病人痛苦轻。

常压介质阻挡放电等离子体发射光谱的检测分析

以常压介质阻挡放电等离子体作为研究对象,在常温常压条件下使用介质阻挡放电光谱诊断装置,得到N2第二正系跃迁和Ar原子发射谱线。通过对放电光谱的检测分析,可以察知常压介质阻挡放电等离子体的特性,并可运用同一元素谱线的相对强度来诊断电子激发温度等物理参量,以达到对材料表面改性过程的实时监控,工作的结果对常压介质阻挡放电及其在材料改性的应用中具有重要的意义。

常压射频冷等离子体TEOS工艺沉积二氧化硅薄膜的光谱研究

常压射频冷等离子体是近年来广受关注的一种新兴技术,在薄膜沉积方面已体现出其巨大潜力,但由于等离子体本身反应的复杂性,使其在薄膜沉积方面的机理至今尚未完全清楚。本文旨在从光谱分析的角度,研究常压射频冷等离子体TEOS工艺沉积二氧化硅薄膜。实验中我们检测到了Si和C-H的特征峰,表明二氧化硅是由TEOS在等离子体中分解而形成的。同时还研究了不同输入功率下Si和C-H的特征峰强度的变化情况,并发现其变化规律与生长速率有着很好的相似性。在温度为200℃的条件下所生成的SiO2薄膜的折射率在1.47-1.48的范围内。

低温常压等离子体处理羊毛改性技术研究

在介绍等离子体处理羊毛纤维一般机理的基础上 ,着重研究低温常压等离子体连续处理羊毛的表面改性技术。对相关设备的设计和配置、技术路线和工艺参数的选择等 ,作了详细的论述。文章认为低温常压等离子体处理羊毛改性技术有工业推广和市场应用的较广阔前景。

常压低温等离子体处理聚乳酸织物的染色性能

通过对常压低温等离子体处理聚乳酸(PLA)织物的染色性能研究,发现等离子体不同工艺参数处理对PLA染色性能有较大影响。研究结果表明,等离子体处理功率的提高和处理时间的延长,对聚乳酸织物的染色K/S值明显提高,当等离子体处理功率为60kW～100kW,处理时间16s～19s时最佳。

常压低温等离子体对鲜切胡萝卜表面金黄色葡萄球菌的杀菌效果及品质影响

为了解决鲜切胡萝卜微生物安全问题,采用常压低温等离子体(APLTP)对鲜切胡萝卜表面进行杀菌处理,研究ATLTP对鲜切胡萝卜表面金黄色葡萄球菌的杀菌效果。在单因素实验的基础上,利用响应面分析方法建立金黄色葡萄球菌杀菌率的二次项数学模型,利用模型对处理电压、处理时间和处理极距及其相互作用进行分析。结果表明:ATLTP能有效杀死鲜切胡萝卜表面的金黄色葡萄球菌,各因子对杀菌率的影响大小依次是处理电压>处理极距>处理时间,最佳工艺条件为处理电压170 V,处理时间5 min,处理极距2.5 cm,此时杀菌率高达92.35%,与预测值92.26%接近,提高了鲜切胡萝卜食用安全性。APLTP处理前后胡萝卜的水分含量、可溶性固形物、p H值、色泽、相对电导率、丙二醛及Vc含量变化均不显著(P>0.05),较好的保持了胡萝卜的水分、糖度、酸度和颜色,同时维持了细胞膜的通透性及抗氧化能力。

常压低温等离子体消毒灭菌的研究

常压低温等离子体的消毒灭菌作为一种新型的消毒方法,由于其具有安全、简便、低温和快速等优点,正日益受到人们的重视和研究。文章综述了常压低温等离子体消毒灭菌的研究进展,包括了实验装置、实验条件及消毒灭菌机理,还介绍它在环境工程、食品加工等方面的应用前景。

低温等离子体手术刀射频高压脉冲电源的研制

为提升等离子体手术刀切割效果,同时满足电外科设备安全性要求,研制了一种低温等离子体手术刀射频高压脉冲电源。电源以数字信号处理器(DSP)为主控制器,采用数字化脉冲宽度调制(DPWM)控制策略,主.电路采用整流/稳压/逆变的拓扑结构。电源最大输出电压2kV,最大输出功率70 W。使用该电源驱动的等离子体手术刀对鸡肉进行切割实验。实验结果表明,研制的电源能实现稳定输出1MHz正弦波电压波形,在等离子体.手术刀刀头边缘持续稳定地产生低温等离子体;切口处四周组织无炭化现象,手术刀切割快速,切口细窄平滑。

常压低温等离子体处理聚乳酸织物的染色性能

通过对常压低温等离子体处理聚乳酸(PLA)织物的染色性能研究,发现等离子体不同工艺参数处理对PLA染色性能有较大影响。研究结果表明,等离子体处理功率的提高和处理时间的延长,聚乳酸织物的染色K/S值明显提高,当等离子体处理功率60～100kW,处理时间16～19s时为最佳。

常压低温等离子体处理对草莓保鲜效果的影响

本试验为解决草莓常温储存易腐烂、营养物质损失严重的缺陷,以丰香草莓为原料,以果实失重率和维生素C含量为指标,研究了室温(20℃)条件下,不同处理时间、放电距离、发生电压、气体流速的常压低温等离子体处理后草莓的保鲜效果。试验结果表明:常压低温等离子体放电时间为60s,处理距离为10mm,处理电压为140V,气体流速为1L/h时,草莓的保鲜效果最好,果实失重率明显低于对照组,而草莓维生素C含量显著高于对照组,保鲜期(常温)较传统常温保鲜期提升了1倍。该研究提供了一种草莓保鲜新方式,试验结果对于实际应用有一定的参考价值。