干冰微粒喷射清洗技术

简要介绍了随着工艺节点的缩小,传统RCA清洗方法在硅片清洗工艺中的局限性和弊端,进而提出了以CO2为介质的新型干冰微粒喷射清洗方法。从CO2的物理特性出发,论述了CO2流经喷枪后形成干冰微粒的机理,并简要分析了干冰微粒喷射技术对颗粒污染物和有机污染物的清洗机理。在此基础上,介绍了自主研发的一台基于干冰微粒喷射技术的半导体清洗设备,对该设备的结构和各部分的作用作了简要介绍,论述了使用该设备对硅片进行清洗的工艺流程。通过对比实验发现,采用压强为8 MPa、纯度为5N的CO2作为气源,喷嘴前压强设置为11 MPa,使用该设备可以达到很好的清洗效果。

干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃的研究

对干冰微粒喷射法和低频超声波法清洗ITO玻璃的效果进行了比较研究。用接触角测量仪、SEM和XPS测量了清洗前后ITO玻璃表面的浸润性、污染颗粒数量和元素成分及含量等洁净度指标。研究表明,与超声波法清洗相比,干冰微粒喷射法清洗可以使ITO玻璃表面的接触角更小,有机碳含量减少40.5%,污染颗粒数量也显著减少,是一种清洗ITO玻璃的有效方法。

干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃及其对有机电致发光器件性能的影响

采用干冰微粒喷射法对ITO玻璃表面进行了清洁处理,并与浸泡式低频超声波湿法清洗的ITO玻璃进行了对比测量,结果表明:干冰微粒喷射法处理后,ITO薄膜表面的接触角减小,表面污染物颗粒数量下降,ITO薄膜表面上碳的含量较之未处理时降低了48.5%,锡、铟的含量分别增加了533.33%和267.57%,说明干冰微粒法对ITO薄膜表面的有机污染物和杂质颗粒的清洗效果超过了超声波湿法。此后,制备了干冰微粒法清洗ITO阳极的有机电致发光器件(OLED)器件,以及结构相同但ITO电极是用超声波湿法清洗的OLED器件,对这两种器件的参数进行了测量,其结果表明:干冰微粒喷射法清洗器件的启亮电压、亮度和电流效率与超声波湿法清洗的相比较均有所改善。

干冰微粒喷射工艺对等离子喷涂金属涂层结构和性能的影响

干冰微粒喷射法被应用到大气等离子喷涂中以改善涂层的性能。文中采用等离子喷涂和干冰微粒喷射工艺在不锈钢基体表面制备了钢涂层,并研究了涂层的微观结构、孔隙率、温度、氧化、表面粗糙度和结合强度等性能。结果表明,由于干冰微粒喷射具有较高的冷却效率,加之干冰微粒撞击所产生的机械作用,等离子喷涂制备的钢涂层呈现出更致密的结构特征。相比于空气冷却制备的涂层,干冰微粒冷却制备的涂层含有更少的氧化物。另外,干冰微粒喷射工艺对基体的预处理使得涂层的结合强度提高了将近14%,这是由于干冰微粒喷射工艺对基体上吸附的有机物质具有清洁作用,主要基于干冰颗粒的热、机械和膨胀的综合效应。